[實用新型]溫度調節裝置、蒸發源及用于量子點發光器件的蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202223253265.1
• 申請日: 2022-12-02
• 公開（公告）號: CN219079637U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 張成杰
• 申請（專利權）人: TCL科技集團股份有限公司;廣東聚華新型顯示研究院
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24;H10K71/16;H10K59/10
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 劉茂源

本申請提供一種溫度調節裝置、蒸發源及用于量子點發光器件的蒸鍍裝置。通過在殼體的表面開設用于放置蒸發組件的容置槽，且殼體的內腔環繞蒸發組件布置，使得當蒸發組件放置在容置槽中時，蒸發組件可以快速與殼體的內腔中的介質進行熱交換。另在殼體上開設抽氣口和換熱口，通過抽真空組件抽取內腔中的氣體，使得內腔中保持真空狀態，即在蒸發組件的四周形成了真空保溫層，大幅減少了熱量散失，其有利于蒸發組件保持自身溫度以提高蒸發組件的蒸鍍效率；而通過設置送風組件向內腔中送入大量氣體，使得蒸發組件可以與內腔中的氣體進行熱交換以快速降溫，減少了維護等待時間。

技術領域

本申請涉及真空蒸鍍技術領域，尤其涉及一種溫度調節裝置、蒸發源及用于量子點發光器件的蒸鍍裝置。

背景技術

在制備OLED等顯示面板的真空蒸鍍過程中，常使用到蒸鍍機，蒸鍍機包括真空腔體以及安裝在該腔體內的蒸鍍托盤和蒸發源等部件；其中，待蒸鍍的玻璃基板通常安裝在蒸鍍托盤上，蒸發源用于加熱并蒸發蒸鍍材料。

蒸發源在使用過程中需要保持其較高的自身溫度，以避免蒸發源內部蒸鍍材料降溫凝結；另蒸發源經過一定時間使用后需要對其維護，則此時需要快速對蒸發源降溫以縮減技術人員的維護等待時間。

通常可以選擇為蒸發源設置溫度調節裝置以調節蒸發源的溫度，但目前溫度調節裝置的功能單一且對蒸發源溫度的調節效率較低。

實用新型內容

本申請提供一種溫度調節裝置、蒸發源及用于量子點發光器件的蒸鍍裝置，以解決現有技術中對蒸發源的溫度調節效率低的技術問題。

一方面，本申請提供一種溫度調節裝置，用于調節蒸發組件的溫度，包括：

殼體，所述殼體的外表面上形成有容置槽，所述容置槽用于容納所述蒸發組件，所述殼體的內腔環繞所述容置槽布置，所述殼體上還開設有連通所述內腔的抽氣口和換熱口；

抽真空組件，所述抽真空組件連通所述抽氣口，所述抽真空組件用于抽取所述內腔中的氣體；

送風組件，所述送風組件連通所述換熱口，所述送風組件用于向所述內腔中送入氣體。

在本申請一種可能的實現方式中，所述殼體上還開設有連通所述內腔的出氣口，所述出氣口處設有出風閥。

在本申請一種可能的實現方式中，所述抽氣口、和/或所述換熱口，和/或所述出氣口相鄰布置在所述殼體的同一側表面上。

在本申請一種可能的實現方式中，所述內腔中布置有多個擋板，多個所述擋板將所述內腔分隔形成S形迂回的換熱流道。

在本申請一種可能的實現方式中，所述換熱流道包括至少兩條并聯布置的子流道。

在本申請一種可能的實現方式中，所述擋板上間隔布置有多個微孔。

在本申請一種可能的實現方式中，所述溫度調節裝置還包括換熱器，所述換熱器布置在所述送風組件連通所述換熱口的流路上，所述換熱器用于調節所述送風組件送入所述內腔中的氣流溫度。

在本申請一種可能的實現方式中，所述內腔中設有溫度檢測器，所述溫度檢測器用于檢測所述內腔中的溫度值，所述溫度檢測器電連接所述送風組件和所述換熱器；

所述送風組件用于根據所述溫度值調節送風量，和/或所述換熱器用于根據所述溫度值調節換熱功率。

另一方面，本申請還提供一種蒸發源，所述蒸發源包括多個蒸發組件和上文所述的溫度調節裝置，所述殼體上形成有多個所述容置槽，所述容置槽底部還形成貫穿所述殼體的接線通孔，所述接線通孔與所述內腔相互隔離；

所述蒸發組件包括坩堝、加熱組件和噴嘴，多個所述容置槽中分別放置有一個所述坩堝，所述加熱組件的加熱源環繞所述坩堝設置，所述加熱組件的電源線穿設通過所述接線通孔，所述噴嘴安裝在所述坩堝上。