[實用新型]溫度調節裝置、蒸發源及用于量子點發光器件的蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 202223253265.1
• 申請日: 2022-12-02
• 公開（公告）號: CN219079637U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 張成杰
• 申請（專利權）人: TCL科技集團股份有限公司;廣東聚華新型顯示研究院
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54;C23C14/24;H10K71/16;H10K59/10
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 劉茂源

1.一種溫度調節裝置，用于調節蒸發組件的溫度，其特征在于，包括：

殼體，所述殼體的外表面上形成有容置槽，所述容置槽用于容納所述蒸發組件，所述殼體的內腔環繞所述容置槽布置，所述殼體上還開設有連通所述內腔的抽氣口和換熱口；

抽真空組件，所述抽真空組件連通所述抽氣口，所述抽真空組件用于抽取所述內腔中的氣體；

送風組件，所述送風組件連通所述換熱口，所述送風組件用于向所述內腔中送入氣體。

2.如權利要求1所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述殼體上還開設有連通所述內腔的出氣口，所述出氣口處設有出風閥。

3.如權利要求2所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述抽氣口、和/或所述換熱口，和/或所述出氣口相鄰布置在所述殼體的同一側表面上。

4.如權利要求2所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述內腔中布置有多個擋板，多個所述擋板將所述內腔分隔形成S形迂回的換熱流道。

5.如權利要求4所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述換熱流道包括至少兩條并聯布置的子流道。

6.如權利要求4所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述擋板上間隔布置有多個微孔。

7.如權利要求1-6中任一項所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述溫度調節裝置還包括換熱器，所述換熱器布置在所述送風組件連通所述換熱口的流路上，所述換熱器用于調節所述送風組件送入所述內腔中的氣流溫度。

8.如權利要求7所述的溫度調節裝置，其特征在于，所述內腔中設有溫度檢測器，所述溫度檢測器用于檢測所述內腔中的溫度值，所述溫度檢測器電連接所述送風組件和所述換熱器；

所述送風組件用于根據所述溫度值調節送風量，和/或所述換熱器用于根據所述溫度值調節換熱功率。

9.一種蒸發源，其特征在于，所述蒸發源包括多個蒸發組件和權利要求1-8中任一項所述的溫度調節裝置，所述殼體上形成有多個所述容置槽，所述容置槽底部還形成貫穿所述殼體的接線通孔，所述接線通孔與所述內腔相互隔離；

所述蒸發組件包括坩堝、加熱組件和噴嘴，多個所述容置槽中分別放置有一個所述坩堝，所述加熱組件的加熱源環繞所述坩堝設置，所述加熱組件的電源線穿設通過所述接線通孔，所述噴嘴安裝在所述坩堝上。

10.一種用于量子點發光器件的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置包括蒸鍍腔室、蒸鍍托盤和權利要求9中所述的蒸發源，所述蒸鍍腔室罩設在所述蒸發源上，且所述蒸發源的多個所述噴嘴位于所述蒸鍍腔室中，所述蒸鍍托盤安裝在所述蒸鍍腔室內且位于所述蒸發源的上方，所述蒸鍍托盤用于固定玻璃基板。