[實用新型]一種便于清理的石英坩堝

有效

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• 申請日: 2022-12-03
• 公開（公告）號: CN218932386U
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳景升
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇微脈半導(dǎo)體技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B7/00
• 代理公司: 徐州新知科服知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32634
• 代理人: 陳輝

本實用新型公開了一種便于清理的石英坩堝，其包括：坩堝本體、清潔器和堝蓋，坩堝本體包括堝身和坩堝底座，堝身設(shè)置在坩堝底座的上端面，并且，堝身的內(nèi)部開設(shè)有空腔，坩堝底座的內(nèi)部開設(shè)有凹槽，清潔器包括坩堝內(nèi)座和頂環(huán)，坩堝內(nèi)座卡合在凹槽的內(nèi)部并貼合在空腔的內(nèi)壁，坩堝內(nèi)座的上端面均勻的設(shè)置有四個連接桿，連接桿的另一端均安裝在頂環(huán)的下端面。本實用新型公開的石英坩堝能夠在保證坩堝使用的同時不改變現(xiàn)有的坩堝結(jié)構(gòu)并增加坩堝內(nèi)座，讓坩堝內(nèi)座將坩堝內(nèi)壁聚集在一處的殘渣和溶液刮除，還能夠直接對取出的坩堝內(nèi)座進(jìn)行清理，避免了殘渣和溶液沾附在坩堝底部內(nèi)壁不便清理的麻煩出現(xiàn)，結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及坩堝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種便于清理的石英坩堝。

背景技術(shù)

石英坩堝是用高純石英經(jīng)過高溫熔化形成的一種玻璃態(tài)器皿，具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點，是生產(chǎn)單晶硅的過程中不可替代的容器，但是，在使用石英坩堝時，石英坩堝的內(nèi)壁會沾附有溶液和殘渣，需要將石英坩堝內(nèi)的溶液和殘渣清理后才能繼續(xù)使用坩堝。

現(xiàn)有的石英坩堝大多數(shù)都是通過人工手持刮片對其進(jìn)行清理，這種人工清理的方式費時費力，勞動強度大，并且，由于不同操作人員的熟練度，會導(dǎo)致部分石英坩堝內(nèi)的殘渣和溶液清理的不徹底，影響了石英坩堝的使用。因此，本領(lǐng)域技術(shù)人員提供了一種便于清理的石英坩堝，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種便于清理的石英坩堝，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種便于清理的石英坩堝，包括：坩堝本體、清潔器和堝蓋，坩堝本體包括堝身和坩堝底座，堝身設(shè)置在坩堝底座的上端面，并且，堝身的內(nèi)部開設(shè)有空腔，坩堝底座的內(nèi)部開設(shè)有凹槽，清潔器包括坩堝內(nèi)座和頂環(huán)，坩堝內(nèi)座卡合在凹槽的內(nèi)部并貼合在空腔的內(nèi)壁，坩堝內(nèi)座的上端面均勻的設(shè)置有四個連接桿，連接桿的另一端均安裝在頂環(huán)的下端面，頂環(huán)通過連接桿延伸至空腔的內(nèi)部，且連接桿、頂環(huán)的外壁均緊貼在空腔的內(nèi)壁，堝蓋設(shè)置在坩堝本體的上方并覆蓋在空腔的頂部。

優(yōu)選地，坩堝內(nèi)座上端面的直徑與空腔的內(nèi)徑相同。

優(yōu)選地，坩堝內(nèi)座的內(nèi)部開設(shè)有用于溶劑加熱的盛放腔，盛放腔與空腔相連通。

優(yōu)選地，堝蓋的內(nèi)部設(shè)置有限位環(huán)，空腔的內(nèi)部位于頂環(huán)的上方設(shè)置有空槽，限位環(huán)延伸至空槽的內(nèi)部并緊壓在頂環(huán)的上端面。

優(yōu)選地，頂環(huán)的上端面均勻的開設(shè)有若干個通孔。

優(yōu)選地，限位環(huán)的外壁與堝蓋的內(nèi)壁之間設(shè)置有夾持槽，堝蓋、限位環(huán)通過夾持槽分別貼合在坩堝本體的內(nèi)壁、外壁。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于：

通過設(shè)置坩堝內(nèi)座和頂環(huán)，可將坩堝內(nèi)座卡合在凹槽中并貼合在凹槽的內(nèi)壁，讓坩堝內(nèi)座位于空腔的下方，能夠讓空腔和盛放腔形成一體，可將溶劑放入盛放腔和空腔中進(jìn)行加工，不會影響石英坩堝的使用，在使用完畢后，可以直接將坩堝內(nèi)座取出進(jìn)行清理，避免了殘渣和溶液沾附在坩堝底部內(nèi)壁不便清理的麻煩出現(xiàn)，并且，在取出坩堝內(nèi)座時，先轉(zhuǎn)動頂環(huán)帶動連接桿在空腔內(nèi)壁位移，可將沾附在空腔內(nèi)壁的殘渣和溶液刮動聚集在一處，再將頂環(huán)提出帶動坩堝內(nèi)座向上位移，可讓貼合在空腔內(nèi)壁的坩堝內(nèi)座將聚集在一處的溶液和殘渣刮出坩堝，完成了對坩堝的內(nèi)壁進(jìn)行清理，結(jié)構(gòu)簡單，操作便捷，實現(xiàn)了坩堝的清理。

附圖說明

圖1為根據(jù)本實用新型一實施例的石英坩堝的立體示意圖；

圖2為根據(jù)本實用新型一實施例的清潔器與坩堝本體、堝蓋的連接示意圖；

圖3為根據(jù)本實用新型一實施例的清潔器的立體示意圖；

圖4為根據(jù)本實用新型一實施例的堝蓋的立體示意圖。