[實用新型]一種便于清理的石英坩堝

有效

• 申請號: 202223231643.6
• 申請日: 2022-12-03
• 公開（公告）號: CN218932386U
• 公開（公告）日: 2023-04-28
• 發明（設計）人: 陳景升
• 申請（專利權）人: 江蘇微脈半導體技術研究院有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B7/00
• 代理公司: 徐州新知科服知識產權代理有限公司 32634
• 代理人: 陳輝

1.一種便于清理的石英坩堝，包括：坩堝本體(1)、清潔器(2)和堝蓋(3)，其特征在于，所述坩堝本體(1)包括堝身(11)和坩堝底座(12)，所述堝身(11)設置在所述坩堝底座(12)的上端面，并且，所述堝身(11)的內部開設有空腔(111)，所述坩堝底座(12)的內部開設有凹槽(121)，所述清潔器(2)包括坩堝內座(21)和頂環(22)，所述坩堝內座(21)卡合在所述凹槽(121)的內部并貼合在所述空腔(111)的內壁，所述坩堝內座(21)的上端面均勻的設置有四個連接桿(23)，所述連接桿(23)的另一端均安裝在所述頂環(22)的下端面，所述頂環(22)通過所述連接桿(23)延伸至所述空腔(111)的內部，且所述連接桿(23)、頂環(22)的外壁均緊貼在所述空腔(111)的內壁，所述堝蓋(3)設置在所述坩堝本體(1)的上方并覆蓋在所述空腔(111)的頂部。

2.根據權利要求1所述的一種便于清理的石英坩堝，其特征在于，所述坩堝內座(21)上端面的直徑與所述空腔(111)的內徑相同。

3.根據權利要求1所述的一種便于清理的石英坩堝，其特征在于，所述坩堝內座(21)的內部開設有用于溶劑加熱的盛放腔(211)，所述盛放腔(211)與所述空腔(111)相連通。

4.根據權利要求1所述的一種便于清理的石英坩堝，其特征在于，所述堝蓋(3)的內部設置有限位環(31)，所述空腔(111)的內部位于所述頂環(22)的上方設置有空槽(112)，所述限位環(31)延伸至所述空槽(112)的內部并緊壓在所述頂環(22)的上端面。

5.根據權利要求1所述的一種便于清理的石英坩堝，其特征在于，所述頂環(22)的上端面均勻的開設有若干個通孔(221)。

6.根據權利要求4所述的一種便于清理的石英坩堝，其特征在于，所述限位環(31)的外壁與所述堝蓋(3)的內壁之間設置有夾持槽(311)，所述堝蓋(3)、限位環(31)通過夾持槽(311)分別貼合在所述坩堝本體(1)的內壁、外壁。