[實(shí)用新型]一種真空控制裝置及系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202223228044.9 | 申請(qǐng)日： | 2022-12-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN218728698U | 公開(kāi)（公告）日： | 2023-03-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 邱春玲;汪正昊;龍濤;齊超;童宇航;李文燕;王冰怡 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 吉林大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G05B19/042 | 分類(lèi)號(hào)： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京市盛峰律師事務(wù)所 11337 | 代理人： | 洪麗 |
| 地址： | 130012 吉*** | 國(guó)省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 真空 控制 裝置 系統(tǒng) | ||
1.一種真空控制裝置，其特征在于，包括殼體以及設(shè)置在殼體內(nèi)的電路板，所述電路板包括MCU、CPLD、電源模塊、開(kāi)關(guān)控制器和端口控制器，所述電源模塊分別與所述MCU、所述CPLD、所述開(kāi)關(guān)控制器和所述端口控制器相連，所述MCU和所述CPLD之間雙向通信，所述端口控制器分別與所述MCU和所述CPLD連接，用于連接外部真空設(shè)備；所述開(kāi)關(guān)控制器與所述MCU相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空控制裝置，其特征在于，所述真空控制裝置上連接有若干真空計(jì)和對(duì)應(yīng)的閘閥，所述真空計(jì)連接在所述MCU上，所述閘閥連接在所述開(kāi)關(guān)控制器上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空控制裝置，其特征在于，所述真空計(jì)通過(guò)RS485通信接口與MCU相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空控制裝置，其特征在于，所述電路板上還設(shè)置有網(wǎng)絡(luò)控制器，所述網(wǎng)絡(luò)控制器分別與所述MCU和所述CPLD相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空控制裝置，其特征在于，所述真空設(shè)備通過(guò)RS232連接在所述端口控制器上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空控制裝置，其特征在于，所述真空設(shè)備包括渦輪分子泵、低溫泵、粗抽泵和排氣閥中的至少一種。
7.一種真空控制系統(tǒng)，其特征在于，包括至少一個(gè)權(quán)利要求1-6任一所述的真空控制裝置，還包括集線(xiàn)器和上位機(jī)，所述上位機(jī)與所述真空控制裝置均與所述集線(xiàn)器相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空控制系統(tǒng)，其特征在于，所述集線(xiàn)器通過(guò)光纖通信板與所述真空控制裝置相連。
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