[實用新型]一種真空腔室用的玻璃定位裝置

有效

• 申請號: 202223186837.9
• 申請日: 2022-11-28
• 公開（公告）號: CN218613654U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發明（設計）人: 魯國濤;朱建華
• 申請（專利權）人: 北京博示電子科技有限責任公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王震

本實用新型提供一種真空腔室用的玻璃定位裝置，真空腔室用的玻璃定位裝置的結構包括真空腔室；玻璃吸盤，設置在所述真空腔室內，用于吸附玻璃；糾偏部，設置在所述真空腔室內，并與所述真空腔室相連接，所述糾偏部能夠驅動所述玻璃吸盤沿第一方向運動、沿第二方向運動和沿圓周方向轉動，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及連接部，連接所述玻璃吸盤與所述糾偏部，所述連接部能夠驅動所述玻璃吸盤沿第三方向運動，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。該真空腔室用的玻璃定位裝置能夠解決真空腔室如何對玻璃進行定位的問題。

技術領域

本申請涉及真空腔室技術領域，尤其是涉及一種真空腔室用的玻璃定位裝置。

背景技術

真空腔室在許多種領域和許多種裝置中均有所應用，其使用大多與玻璃的定位相關。

玻璃定位的具體過程，通常是依靠視覺定位裝置以及對玻璃位置進行微調的玻璃定位裝置實現，而在真空腔室如何對玻璃進行定位則是一個亟待解決的問題。

實用新型內容

有鑒于此，本申請的目的在于提供一種真空腔室用的玻璃定位裝置，用以解決真空腔室如何對玻璃進行定位的問題。

根據本實用新型的第一方面提供一種真空腔室用的玻璃定位裝置，其中，所述真空腔室用的玻璃定位裝置包括：真空腔室；玻璃吸盤，設置在所述真空腔室內，用于吸附玻璃；糾偏部，設置在所述真空腔室內，并與所述真空腔室相連接，所述糾偏部能夠驅動所述玻璃吸盤沿第一方向運動、沿第二方向運動和沿圓周方向轉動，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及連接部，連接所述玻璃吸盤與所述糾偏部，所述連接部能夠驅動所述玻璃吸盤沿第三方向運動，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

優選地，所述糾偏部包括：第一驅動部，頂部連接于所述連接部，所述第一驅動部能夠驅動所述連接部沿所述第一方向運動；第二驅動部，頂部連接于第一驅動部，所述第二驅動部能夠驅動所述第一驅動部沿所述第二方向運動；以及第三驅動部，頂部連接于第二驅動部，所述第三驅動部能夠驅動所述第二驅動部沿所述圓周方向轉動。

優選地，所述第一驅動部包括：第一橫板，與所述連接部的底部相連接；第一滑塊，所述第一滑塊的數量為多個，多個所述第一滑塊與所述第一橫板的底部相連接；第一滑軌，所述第一滑軌的數量為多個，多個所述第一滑軌沿所述第一方向設置，所述第一滑塊安裝于所述第一滑軌；第一驅動部件，與所述第一橫板相連接，所述第一驅動部件能夠驅動所述第一橫板沿所述第一方向往返運動；第二橫板，所述第一滑軌安裝于所述第二橫板的頂部；以及第一連接件，頂端與所述第一橫板固定連接，底端與所述第二橫板活動連接，所述第一連接件能夠相對于所述第二橫板沿所述第一方向運動。

優選地，所述第一驅動部件包括：第一驅動塊，與所述第一橫板固定連接；以及第一絲杠，所述第一驅動塊形成有用于與所述第一絲杠配合的螺紋孔，所述第一絲杠用于驅動所述第一驅動塊沿所述第一方向往返運動。

優選地，所述第二驅動部包括：第二滑塊，所述第二滑塊的數量為多個，多個所述第二滑塊與所述第一驅動部的底部相連接；第二滑軌，所述第二滑軌的數量為多個，多個所述第二滑軌沿所述第二方向設置，所述第二滑塊安裝于所述第二滑軌；第二驅動部件，與所述第一驅動部相連接，所述第二驅動部件能夠驅動所述第一驅動部沿所述第二方向往返運動；第三橫板，所述第二滑軌安裝于所述第三橫板的頂部；以及第二連接件，頂端與所述第一驅動部固定連接，底端與所述第三橫板活動連接，所述第二連接件能夠相對于所述第三橫板沿所述第二方向運動。

優選地，所述第二驅動部件包括：第二驅動塊，與所述第一驅動部固定連接；以及第二絲杠，所述第二驅動塊形成有用于與所述第二絲杠配合的螺紋孔，所述第二絲杠用于驅動所述第二驅動塊沿所述第二方向往返運動。