[實(shí)用新型]一種真空腔室用的玻璃定位裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202223186837.9 | 申請(qǐng)日： | 2022-11-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN218613654U | 公開（公告）日： | 2023-03-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 魯國濤;朱建華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京博示電子科技有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | B25B11/00 | 分類號(hào)： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王震 |
| 地址： | 100089 北京市海淀區(qū)學(xué)清路*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 空腔 玻璃 定位 裝置 | ||
1.一種真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述真空腔室用的玻璃定位裝置包括：
真空腔室；
玻璃吸盤，設(shè)置在所述真空腔室內(nèi)，用于吸附玻璃；
糾偏部，設(shè)置在所述真空腔室內(nèi)，并與所述真空腔室相連接，所述糾偏部能夠驅(qū)動(dòng)所述玻璃吸盤沿第一方向運(yùn)動(dòng)、沿第二方向運(yùn)動(dòng)和沿圓周方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第一方向垂直于所述第二方向；以及
連接部，連接所述玻璃吸盤與所述糾偏部，所述連接部能夠驅(qū)動(dòng)所述玻璃吸盤沿第三方向運(yùn)動(dòng)，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述糾偏部包括：
第一驅(qū)動(dòng)部，頂部連接于所述連接部，所述第一驅(qū)動(dòng)部能夠驅(qū)動(dòng)所述連接部沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)；
第二驅(qū)動(dòng)部，頂部連接于第一驅(qū)動(dòng)部，所述第二驅(qū)動(dòng)部能夠驅(qū)動(dòng)所述第一驅(qū)動(dòng)部沿所述第二方向運(yùn)動(dòng)；以及
第三驅(qū)動(dòng)部，頂部連接于第二驅(qū)動(dòng)部，所述第三驅(qū)動(dòng)部能夠驅(qū)動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)部沿所述圓周方向轉(zhuǎn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)部包括：
第一橫板，與所述連接部的底部相連接；
第一滑塊，所述第一滑塊的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述第一滑塊與所述第一橫板的底部相連接；
第一滑軌，所述第一滑軌的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述第一滑軌沿所述第一方向設(shè)置，所述第一滑塊安裝于所述第一滑軌；
第一驅(qū)動(dòng)部件，與所述第一橫板相連接，所述第一驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一橫板沿所述第一方向往返運(yùn)動(dòng)；
第二橫板，所述第一滑軌安裝于所述第二橫板的頂部；以及
第一連接件，頂端與所述第一橫板固定連接，底端與所述第二橫板活動(dòng)連接，所述第一連接件能夠相對(duì)于所述第二橫板沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述第一驅(qū)動(dòng)部件包括：
第一驅(qū)動(dòng)塊，與所述第一橫板固定連接；以及
第一絲杠，所述第一驅(qū)動(dòng)塊形成有用于與所述第一絲杠配合的螺紋孔，所述第一絲杠用于驅(qū)動(dòng)所述第一驅(qū)動(dòng)塊沿所述第一方向往返運(yùn)動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)部包括：
第二滑塊，所述第二滑塊的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述第二滑塊與所述第一驅(qū)動(dòng)部的底部相連接；
第二滑軌，所述第二滑軌的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述第二滑軌沿所述第二方向設(shè)置，所述第二滑塊安裝于所述第二滑軌；
第二驅(qū)動(dòng)部件，與所述第一驅(qū)動(dòng)部相連接，所述第二驅(qū)動(dòng)部件能夠驅(qū)動(dòng)所述第一驅(qū)動(dòng)部沿所述第二方向往返運(yùn)動(dòng)；
第三橫板，所述第二滑軌安裝于所述第三橫板的頂部；以及
第二連接件，頂端與所述第一驅(qū)動(dòng)部固定連接，底端與所述第三橫板活動(dòng)連接，所述第二連接件能夠相對(duì)于所述第三橫板沿所述第二方向運(yùn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空腔室用的玻璃定位裝置，其特征在于，所述第二驅(qū)動(dòng)部件包括：
第二驅(qū)動(dòng)塊，與所述第一驅(qū)動(dòng)部固定連接；以及
第二絲杠，所述第二驅(qū)動(dòng)塊形成有用于與所述第二絲杠配合的螺紋孔，所述第二絲杠用于驅(qū)動(dòng)所述第二驅(qū)動(dòng)塊沿所述第二方向往返運(yùn)動(dòng)。
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