[實(shí)用新型]用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)和氣懸式涂布機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223120016.5
• 申請(qǐng)日: 2022-11-21
• 公開（公告）號(hào): CN219003605U
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 闕磊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都拓米智能系統(tǒng)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B05C13/02
• 分類號(hào): B05C13/02
• 代理公司: 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 尉立

本實(shí)用新型的實(shí)施例提出一種用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)和具有該用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)的氣懸式涂布機(jī)。其中，所述氣懸浮平臺(tái)包括涂布機(jī)架、氣懸浮平臺(tái)體和定位移載機(jī)構(gòu)。所述氣懸浮平臺(tái)體設(shè)置在所述涂布機(jī)架上，所述氣懸浮平臺(tái)體包括沿所述涂布機(jī)架的長度方向依次設(shè)置的上料浮起臺(tái)、涂布浮起臺(tái)和下料浮起臺(tái)，所述涂布浮起臺(tái)能夠與涂布模頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述定位移載機(jī)構(gòu)用于移載玻璃基材，定位移載機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地設(shè)置在涂布機(jī)架上以便使玻璃基材能夠與上料浮起臺(tái)、涂布浮起臺(tái)和下料浮起臺(tái)可切換地對(duì)應(yīng)。因此，本實(shí)用新型實(shí)施例的用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)具有提升玻璃基材載移的穩(wěn)定性及提升涂布質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體行技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)和具有該用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)的氣懸式涂布機(jī)。

背景技術(shù)

通常在半導(dǎo)體行裝置及顯示器的制造工藝中，會(huì)在處理基板(玻璃基材)上的涂布特定功能的薄膜(例如：氧化薄膜、金屬薄膜和半導(dǎo)體薄膜等)；狹縫式涂布是一種在一定壓力下，將涂液沿著模具縫隙壓出并轉(zhuǎn)移到移動(dòng)的處理基板上的一種涂布技術(shù)。氣懸式涂布機(jī)利用氣懸浮平臺(tái)的向上方噴出高壓氣體，并通過該高壓空氣的壓力使基板懸浮，具有涂布速度快、涂膜均勻性好的優(yōu)點(diǎn)。并配合通過氣懸浮平臺(tái)的輸送部將浮在氣懸浮平臺(tái)上的基板以能夠裝卸的方式保持并沿氣懸浮平臺(tái)的長度方向輸送該基板，但是該輸送部存在對(duì)基板定位能力差，進(jìn)而導(dǎo)致基板在輸送過程中易偏斜的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。為此，本實(shí)用新型的實(shí)施例提出一種用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)。該用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)具有提升玻璃基材載移的穩(wěn)定性及提升涂布質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的實(shí)施例還提出一種氣懸式涂布機(jī)。

本實(shí)用新型實(shí)施例的用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)包括涂布機(jī)架、氣懸浮平臺(tái)體和定位移載機(jī)構(gòu)。

所述氣懸浮平臺(tái)體設(shè)置在所述涂布機(jī)架上，所述氣懸浮平臺(tái)體包括沿所述涂布機(jī)架的長度方向依次設(shè)置的上料浮起臺(tái)、涂布浮起臺(tái)和下料浮起臺(tái)，所述涂布浮起臺(tái)能夠與涂布模頭對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述定位移載機(jī)構(gòu)用于移載玻璃基材，所述定位移載機(jī)構(gòu)可移動(dòng)地設(shè)置在所述涂布機(jī)架上以便使所述玻璃基材能夠與所述上料浮起臺(tái)、所述涂布浮起臺(tái)和所述下料浮起臺(tái)可切換地對(duì)應(yīng)。

本實(shí)用新型實(shí)施例的用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)，通過設(shè)置定位移載機(jī)構(gòu)可以對(duì)玻璃基材載移的同時(shí)，可以對(duì)玻璃基材進(jìn)行定位，防止玻璃基材在載移和涂布的過程因出現(xiàn)偏移而影響涂布質(zhì)量的問題。由此，提升了對(duì)玻璃基材載移的穩(wěn)定性及涂布位置和質(zhì)量的一致性。

因此，本實(shí)用新型實(shí)施例的用于氣懸式涂布機(jī)的氣懸浮平臺(tái)具有提升玻璃基材載移的穩(wěn)定性及提升涂布質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。

在一些實(shí)施例中，所述涂布機(jī)架包括涂布架體和至少兩個(gè)導(dǎo)軌，至少兩個(gè)所述導(dǎo)軌沿所述涂布機(jī)架的寬度方向上間隔開地設(shè)置在所述涂布架體上，且至少兩個(gè)所述導(dǎo)軌均沿所述涂布機(jī)架的長度方向延伸，所述定位移載機(jī)構(gòu)包括沿所述涂布機(jī)架的寬度方向上間隔且相對(duì)設(shè)置的第一定位支撐架和第二定位支撐架，所述第一定位支撐架和所述第二定位支撐架與其中兩個(gè)所述導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)配合，所述第一定位支撐架和所述第二定位支撐架中的每一者均能夠移載所述玻璃基材。

在一些實(shí)施例中，所述第一定位支撐架和所述第二定位支撐架中的每一者均包括導(dǎo)向件、限位件和定位吸附件，所述導(dǎo)向件與所述導(dǎo)軌導(dǎo)向配合，所述限位件與所述導(dǎo)向件連接，所述定位吸附件沿所述涂布機(jī)架的長度方向上可移動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)向件上，所述定位吸附件能夠吸附所述玻璃基材。

在一些實(shí)施例中，所述導(dǎo)向件包括導(dǎo)塊和升降調(diào)節(jié)臺(tái)，所述導(dǎo)塊與所述導(dǎo)軌導(dǎo)向配合，所述升降調(diào)節(jié)臺(tái)的一端與所述導(dǎo)塊連接，所述升降調(diào)節(jié)臺(tái)沿上下方向延伸，所述限位件設(shè)置在所述升降調(diào)節(jié)臺(tái)上，且所述限位件沿上下方向可移動(dòng)地設(shè)置在所述升降調(diào)節(jié)臺(tái)上。