[實(shí)用新型]一種真空濺鍍防著板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202223065305.X
• 申請(qǐng)日: 2022-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN219195109U
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張炎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州佰圣康精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 蘇州吳韻知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32364
• 代理人: 于海英

本實(shí)用新型公開了一種真空濺鍍防著板，包括真空濺鍍機(jī)罩和防著板，所述真空濺鍍機(jī)罩的內(nèi)部的兩側(cè)和后端分別設(shè)有側(cè)組裝框架和后組裝框架，所述后組裝框架內(nèi)的后端設(shè)有固定橫桿，所述側(cè)組裝框架內(nèi)的上下端分別設(shè)有側(cè)排位槽，所述側(cè)排位槽的內(nèi)部的前端設(shè)有側(cè)拆裝槽口，且側(cè)拆裝槽口的數(shù)量不少于兩個(gè)，所述后組裝框架內(nèi)的上下端分別設(shè)有后排位槽。該實(shí)用新型中的防著板屬于拼接式安裝，第一次安裝，需要使用固定螺栓將安裝底板固定在設(shè)備內(nèi)部的兩側(cè)，使側(cè)組裝框架與設(shè)備的內(nèi)壁緊密貼合，且后組裝框架是通過固定卡塊與固定卡槽連接將其組裝固定，不需要使用螺栓或其它繁瑣的固定方式，安裝更省力。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空濺鍍相關(guān)領(lǐng)域，具體為一種真空濺鍍防著板。

背景技術(shù)

真空濺鍍就是在真空環(huán)境下，通入適當(dāng)?shù)亩栊詺怏w作為媒介，靠惰性氣體加速撞擊靶材，使靶材表面原子被撞擊出來(lái)，并在表面形成鍍膜，濺鍍，通常指的是磁控濺鍍，屬于高速低溫濺鍍法，為了避免濺鍍材料對(duì)內(nèi)腔進(jìn)行污染，在真空濺鍍的內(nèi)腔內(nèi)，會(huì)附加一層防著板，主要對(duì)內(nèi)腔進(jìn)行保護(hù)。

真空濺鍍防著板在長(zhǎng)期使用后，表面會(huì)沉積大量的材料，需要定期進(jìn)行清理，清理的過程需要將防著板進(jìn)行拆卸，每次拆卸都需要將螺栓一顆一顆拆掉，步驟較多，需要借助工具才能完成，且真空濺鍍室內(nèi)空間較大，對(duì)于后端的防著板拆卸，更是費(fèi)力，位置比較難操作，每次對(duì)防著板清理或更換都會(huì)浪費(fèi)大量的時(shí)間和精力。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種真空濺鍍防著板，以解決上述背景技術(shù)中提出的真空濺鍍防著板在長(zhǎng)期使用后，表面會(huì)沉積大量的材料，需要定期進(jìn)行清理，清理的過程需要將防著板進(jìn)行拆卸，每次拆卸都需要將螺栓一顆一顆拆掉，步驟較多，需要借助工具才能完成，且真空濺鍍室內(nèi)空間較大，對(duì)于后端的防著板拆卸，更是費(fèi)力，位置比較難操作，每次對(duì)防著板清理或更換都會(huì)浪費(fèi)大量的時(shí)間和精力的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種真空濺鍍防著板，包括真空濺鍍機(jī)罩和防著板，所述真空濺鍍機(jī)罩的內(nèi)部的兩側(cè)和后端分別設(shè)有側(cè)組裝框架和后組裝框架，所述后組裝框架內(nèi)的后端設(shè)有固定橫桿，所述側(cè)組裝框架內(nèi)的上下端分別設(shè)有側(cè)排位槽，所述側(cè)排位槽的內(nèi)部的前端設(shè)有側(cè)拆裝槽口，且側(cè)拆裝槽口的數(shù)量不少于兩個(gè)，所述后組裝框架內(nèi)的上下端分別設(shè)有后排位槽，所述后排位槽的內(nèi)部的兩側(cè)均設(shè)有后拆裝槽口，且后拆裝槽口的數(shù)量不少于四個(gè)，所述防著板通過拆裝滑塊連接分別設(shè)在側(cè)組裝框架和后組裝框架的內(nèi)部，所述防著板的四周設(shè)有防著板定型框，所述防著板定型框的后端的四個(gè)角的位置處設(shè)有定位角板，所述防著板定型框的后端的兩側(cè)的中間位置設(shè)有卡柱，所述側(cè)組裝框架的底部設(shè)有安裝底板。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述后組裝框架與側(cè)組裝框架通過固定卡塊與固定卡槽鑲嵌連接，且側(cè)組裝框架與安裝底板連接呈L型結(jié)構(gòu)。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述安裝底板與真空濺鍍機(jī)罩通過固定螺栓固定連接，且固定螺栓的數(shù)量不少于四個(gè)。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述防著板的表面設(shè)有凹凸層，且防著板與防著板定型框通過定位角板卡嵌連接。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述側(cè)排位槽的表面位于側(cè)拆裝槽口的一側(cè)側(cè)設(shè)有第一定位鎖桿，所述第一定位鎖桿與側(cè)排位槽通過銷軸旋轉(zhuǎn)連接，且側(cè)拆裝槽口和后拆裝槽口均設(shè)為梯形結(jié)構(gòu)。

在進(jìn)一步的實(shí)施例中，所述后排位槽的表面位于后拆裝槽口的一側(cè)設(shè)有第二定位鎖桿，且第二定位鎖桿與后排位槽通過銷軸旋轉(zhuǎn)連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：