[實用新型]一種真空濺鍍防著板

有效

• 申請號: 202223065305.X
• 申請日: 2022-11-18
• 公開（公告）號: CN219195109U
• 公開（公告）日: 2023-06-16
• 發明（設計）人: 張炎
• 申請（專利權）人: 蘇州佰圣康精密機械有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 蘇州吳韻知識產權代理事務所(普通合伙) 32364
• 代理人: 于海英

1.一種真空濺鍍防著板，包括真空濺鍍機罩(1)和防著板(2)，其特征在于：所述真空濺鍍機罩(1)的內部的兩側和后端分別設有側組裝框架(4)和后組裝框架(3)，所述后組裝框架(3)內的后端設有固定橫桿(15)，所述側組裝框架(4)內的上下端分別設有側排位槽(9)，所述側排位槽(9)的內部的前端設有側拆裝槽口(7)，且側拆裝槽口(7)的數量不少于兩個，所述后組裝框架(3)內的上下端分別設有后排位槽(11)，所述后排位槽(11)的內部的兩側均設有后拆裝槽口(12)，且后拆裝槽口(12)的數量不少于四個，所述防著板(2)通過拆裝滑塊(10)連接分別設在側組裝框架(4)和后組裝框架(3)的內部，所述防著板(2)的四周設有防著板定型框(18)，所述防著板定型框(18)的后端的四個角的位置處設有定位角板(19)，所述防著板定型框(18)的后端的兩側的中間位置設有卡柱(20)，所述側組裝框架(4)的底部設有安裝底板(5)。

2.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍防著板，其特征在于：所述后組裝框架(3)與側組裝框架(4)通過固定卡塊(14)與固定卡槽(6)鑲嵌連接，且側組裝框架(4)與安裝底板(5)連接呈L型結構。

3.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍防著板，其特征在于：所述安裝底板(5)與真空濺鍍機罩(1)通過固定螺栓(17)固定連接，且固定螺栓(17)的數量不少于四個。

4.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍防著板，其特征在于：所述防著板(2)的表面設有凹凸層(16)，且防著板(2)與防著板定型框(18)通過定位角板(19)卡嵌連接。

5.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍防著板，其特征在于：所述側排位槽(9)的表面位于側拆裝槽口(7)的一側側設有第一定位鎖桿(8)，所述第一定位鎖桿(8)與側排位槽(9)通過銷軸旋轉連接，且側拆裝槽口(7)和后拆裝槽口(12)均設為梯形結構。

6.根據權利要求1所述的一種真空濺鍍防著板，其特征在于：所述后排位槽(11)的表面位于后拆裝槽口(12)的一側設有第二定位鎖桿(13)，且第二定位鎖桿(13)與后排位槽(11)通過銷軸旋轉連接。