[實用新型]一種集成光電子器件制造的蝕刻機構

有效

• 申請號: 202223055429.X
• 申請日: 2022-11-17
• 公開（公告）號: CN218896614U
• 公開（公告）日: 2023-04-21
• 發明（設計）人: 李崇輝
• 申請（專利權）人: 李崇輝
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，包括機體(1)，其特征在于：所述機體(1)的頂部固定安裝有防護殼(2)，所述防護殼(2)的正面嵌設有活動門(3)，所述機體(1)的頂部固定安裝有調節倉(4)，所述調節倉(4)的頂部鉸接有蝕刻臺面(5)，所述調節倉(4)的內部設置有調節機構，所述調節倉(4)的內部設置有驅動機構；

所述調節機構包括調節螺桿(9)、從動蝸輪(10)、調節管筒(11)和限制塊(12)，所述調節倉(4)的內底壁轉動安裝有數量為兩個且一端貫穿并延伸到調節倉(4)上方的調節螺桿(9)，所述調節螺桿(9)的外部固定安裝有從動蝸輪(10)，所述從動蝸輪(10)外部螺紋安裝有一端貫穿并延伸到調節倉(4)上方的調節管筒(11)，所述調節管筒(11)相背的一側均固定安裝有限制塊(12)，所述調節倉(4)的內壁底部且位于調節螺桿(9)整體的左右兩側均固定安裝有穩固桿(21)，所述限制塊(12)滑動套接在穩固桿(21)的外部。

2.根據權利要求1所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述驅動機構包括無刷電機(7)和主動蝸桿(8)，所述調節倉(4)的內壁左側固定安裝有無刷電機(7)，所述無刷電機(7)的輸出端固定安裝有一端與從動蝸輪(10)相嚙合的主動蝸桿(8)。

3.根據權利要求1所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述蝕刻臺面(5)的頂部設置有緊固機構，所述緊固機構的內部設置有夾持機構，所述蝕刻臺面(5)的頂部開設有固定槽(6)。

4.根據權利要求3所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述緊固機構包括L型定位座(13)、穩定槽(14)、定位板(19)和緊固螺栓(20)，所述蝕刻臺面(5)的頂部四角可拆卸安裝有定位板(19)，所述定位板(19)的頂部螺紋安裝有一端貫穿并延伸到固定槽(6)內部的緊固螺栓(20)，所述定位板(19)的一側固定安裝有L型定位座(13)，所述L型定位座(13)的內壁開設有穩定槽(14)。

5.根據權利要求4所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述夾持機構包括活動滑塊(15)、夾持板(16)、固定螺桿(17)和復位彈簧(18)，所述穩定槽(14)的內部滑動安裝有活動滑塊(15)，所述活動滑塊(15)的遠離穩定槽(14)的一側均固定安裝有夾持板(16)，所述夾持板(16)的頂部活動安裝有一端貫穿夾持板(16)和L型定位座(13)并延伸到固定槽(6)內部的固定螺桿(17)，所述L型定位座(13)的內底壁固定安裝有位于固定螺桿(17)外部的復位彈簧(18)，所述復位彈簧(18)的頂部與夾持板(16)固定連接。

6.根據權利要求5所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述固定螺桿(17)的頂部固定安裝擰頭，擰頭與夾持板(16)的頂部相接觸。

7.根據權利要求1所述的一種集成光電子器件制造的蝕刻機構，其特征在于：所述調節螺桿(9)通過軸承與調節倉(4)內底壁轉動連接，所述機體(1)的頂部固定安裝有位于蝕刻臺面(5)外部的收集倉。