[實(shí)用新型]一種激光退火裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202223027116.3 | 申請(qǐng)日: | 2022-11-15 |
| 公開(公告)號(hào): | CN218769418U | 公開(公告)日: | 2023-03-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 殷慶輝;徐英乾;郭健;王西坤;王立爭;陳偉峰 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 無錫奧特維旭睿科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/268 | 分類號(hào): | H01L21/268;H01L21/324;H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 無錫永樂唯勤專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孫際德 |
| 地址: | 214000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 激光 退火 裝置 | ||
本實(shí)用新型提供了一種激光退火裝置,包括第一輸送單元、第一拾取單元、承載單元、激光單元、第二拾取單元和第二輸送單元,其中:第一輸送單元用于輸送待處理電池片;第一拾取單元設(shè)置在第一輸送單元上方,用于將第一輸送單元上輸送的待處理電池片拾取至承載單元上;激光單元設(shè)置在承載單元的上方,用于對(duì)承載單元上的電池片進(jìn)行激光退火處理;第二拾取單元設(shè)置在第二輸送單元上方,用于將承載單元上經(jīng)激光退火處理后的電池片拾取至第二輸送單元上。本實(shí)用新型可以有效改善電池片的光衰現(xiàn)象。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及電池生產(chǎn)領(lǐng)域,具體地說是一種激光退火裝置。
背景技術(shù)
電池片在投入使用后,會(huì)不同程度地出現(xiàn)光衰現(xiàn)象,即電池片發(fā)電效率下降,多晶電池衰減比例相對(duì)為1%—2%,而單晶衰減比例可達(dá)3%—5%。目前業(yè)內(nèi)通常使用帶有LED燈具和/或紅外燈管等傳統(tǒng)燈具的退火爐來改善光衰現(xiàn)象,但傳統(tǒng)燈具的退火效果有限,開始愈加無法滿足業(yè)內(nèi)的更高要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有的退火爐受燈具功率限制的缺陷,本實(shí)用新型提供了一種激光退火裝置,其技術(shù)方案如下:
一種激光退火裝置,激光退火裝置包括第一輸送單元、第一拾取單元、承載單元、激光單元、第二拾取單元和第二輸送單元,其中:
第一輸送單元用于輸送待處理電池片;
第一拾取單元設(shè)置在第一輸送單元上方,用于將第一輸送單元上輸送的待處理電池片拾取至承載單元上;
激光單元設(shè)置在承載單元的上方,用于對(duì)承載單元上的電池片進(jìn)行激光退火處理;
第二拾取單元設(shè)置在第二輸送單元上方,用于將承載單元上經(jīng)激光退火處理后的電池片拾取至第二輸送單元上。
本實(shí)用新型采取激光對(duì)電池片進(jìn)行退火處理,能夠克服業(yè)內(nèi)采用燈具功率不夠的問題,可以有效改善電池片的光衰現(xiàn)象。
可選的,激光退火裝置還包括電注入單元,電注入單元包括設(shè)置在承載單元上方的第一探針單元和設(shè)置在承載單元下方的第二探針單元,第一探針單元可朝向或遠(yuǎn)離承載單元升降運(yùn)動(dòng),第二探針單元可朝向或遠(yuǎn)離承載單元升降運(yùn)動(dòng);
承載單元具有供第一探針單元和/或第二探針單元穿過的鏤空區(qū)且承載單元上設(shè)置有用于吸附電池片的吸盤;
電注入單元通過第一探針單元和第二探針單元與電池片電連接。
本實(shí)用新型在利用激光對(duì)電池片進(jìn)行退火的基礎(chǔ)上,設(shè)置電注入單元對(duì)電池片進(jìn)行通電,能夠進(jìn)一步提高退火效果,充分改善電池片的光衰現(xiàn)象。
可選的,激光退火裝置還包括水平調(diào)節(jié)單元,電注入單元安裝在水平調(diào)節(jié)單元的驅(qū)動(dòng)端上,水平調(diào)節(jié)單元用于調(diào)整電注入單元在水平面內(nèi)的平移和/或旋轉(zhuǎn);
水平調(diào)節(jié)單元包括承載板、安裝板和調(diào)節(jié)組件,電注入單元安裝在承載板上,調(diào)節(jié)組件固定設(shè)置在安裝板上,且調(diào)節(jié)組件的驅(qū)動(dòng)端與承載板連接,以驅(qū)動(dòng)承載板在水平面內(nèi)的平移和/或旋轉(zhuǎn)。
通過設(shè)置水平調(diào)節(jié)單元,能夠靈活應(yīng)對(duì)各種位置的電池片,根據(jù)電池片的位置,可針對(duì)性的調(diào)整對(duì)承載板在水平面內(nèi)橫向移動(dòng)、縱向移動(dòng)或者旋轉(zhuǎn),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)電注入單元與電池片的匹配,進(jìn)而提高電注入的效果。
可選的,承載單元包括驅(qū)動(dòng)部以及設(shè)置在驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)端的四個(gè)托盤,驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)四個(gè)托盤旋轉(zhuǎn)并依次停靠在上料工位、退火工位和下料工位。
采用一個(gè)驅(qū)動(dòng)部驅(qū)動(dòng)四個(gè)托盤依次旋轉(zhuǎn)停靠在上料工位、退火工位和下料工位,能夠大幅提高電池片的上下料效率,提升激光退火裝置的效率。
可選的,激光退火裝置還包括定位單元,定位單元設(shè)置在上料工位上方,用于對(duì)位于上料工位的電池片進(jìn)行拍照處理。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





