[實用新型]一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器

有效

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• 申請日: 2022-11-14
• 公開（公告）號: CN219265544U
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設計）人: 周慎杰;王宇
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: G01L1/16
• 分類號: G01L1/16;G01L9/08
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 武博

本實用新型公開了一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，提高壓電壓力傳感器的線性度，具體方案如下：一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，包括殼體，所述殼體頂部設置有波紋膜片。

技術領域

本實用新型涉及壓力傳感器技術領域，尤其是一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器。

背景技術

本部分的陳述僅僅是提供了與本實用新型相關的背景技術信息，不必然構成在先技術。

壓力傳感器是測量和檢測系統(tǒng)壓力的傳感器件，在航空航天、軍工、石化等領域得到廣泛應用。壓力傳感器有應變式、壓阻式、電容式、壓電式。其中壓電傳感器具有響應頻帶寬、靈敏度高、信噪比大等特點，受到廣泛重視。傳統(tǒng)壓電壓力傳感器的膜片結構采用平膜片或垂鏈式膜片，存在線性度差的問題。

實用新型內容

針對現(xiàn)有技術存在的不足，本實用新型提供一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，提高壓電壓力傳感器的線性度。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現(xiàn)：

一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，包括殼體，所述殼體頂部設置有波紋膜片。

進一步地，所述波紋膜片上設置有多圈波紋凸起。

進一步地，所述多圈波紋凸起同心。

進一步地，所述波紋膜片底部設置有加速度補償結構。

進一步地，所述加速度補償結構包括傳力塊、壓電晶體、電極片、補償壓電晶體、補償電極片和補償質量塊。

進一步地，所述波紋膜片底部從上到下依次設置有傳力塊、交錯設置的壓電晶體與電極片、補償壓電晶體、補償電極片和補償質量塊，所述傳力塊與壓電晶體接觸。

進一步地，所述壓電晶體與電極片通過高溫導電膠粘節(jié)。

進一步地，所述補償壓電晶體和補償質量塊直接接觸。

進一步地，所述加速度補償結構外側設置有絕緣套筒。

進一步地，所述加速度補償結構底部設置有芯體。

上述本實用新型的有益效果如下：

1)本實用新型采用波紋膜片，利用波紋膜片波紋間的結構形變和自調整來減小自身變形應力，從而改善傳感器的線性度和響應靈敏度。

附圖說明

構成本實用新型的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。

圖1是本實用新型根據(jù)一個或多個實施方式的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器的主視圖。

圖2是本實用新型根據(jù)一個或多個實施方式的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器的結構示意圖。

圖3是本實用新型根據(jù)另一個或多個實施方式的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器的波紋膜片結構示意圖。

圖4是本實用新型根據(jù)另一個或多個實施方式的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器的波紋膜片線性度圖。

圖5是垂鏈式膜片線性度圖。

圖中：為顯示各部位位置而夸大了互相間間距或尺寸，示意圖僅作示意。

其中：1.波紋膜片2.傳力塊3.壓電晶體4.電極片5.絕緣套筒6.補償質量塊7.補償電極片8.補償壓電晶體9.芯體10.殼體。

具體實施方式

應該指出，以下詳細說明都是例示性的，旨在對本實用新型提供進一步的說明。除非另有指明，本實用新型使用的所有技術和科學術語具有與本實用新型所屬技術領域的普通技術人員通常理解的相同含義。