[實用新型]一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器有效
| 申請號： | 202223020110.3 | 申請日： | 2022-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN219265544U | 公開（公告）日： | 2023-06-27 |
| 發明（設計）人： | 周慎杰;王宇 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | G01L1/16 | 分類號： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221 | 代理人： | 武博 |
| 地址： | 250061 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 波紋 膜片 壓電 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，包括殼體，所述殼體頂部設置有波紋膜片，所述波紋膜片上設置有多圈波紋凸起，所述多圈波紋凸起同心。
2.根據權利要求1所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述波紋膜片底部設置有加速度補償結構。
3.根據權利要求2所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述加速度補償結構包括傳力塊、壓電晶體、電極片、補償壓電晶體、補償電極片和補償質量塊。
4.根據權利要求3所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述波紋膜片底部從上到下依次設置有傳力塊、交錯設置的壓電晶體與電極片、補償壓電晶體、補償電極片和補償質量塊，所述傳力塊與壓電晶體接觸。
5.根據權利要求4所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述壓電晶體與電極片通過高溫導電膠粘節。
6.根據權利要求4所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述補償壓電晶體和補償質量塊直接接觸。
7.根據權利要求2所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述加速度補償結構外側設置有絕緣套筒。
8.根據權利要求2所述的一種波紋膜片式的壓電壓力傳感器，其特征在于，所述加速度補償結構底部設置有芯體。
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