[實用新型]表面活化工藝室有效
| 申請號： | 202222990029.1 | 申請日： | 2022-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN218755990U | 公開（公告）日： | 2023-03-28 |
| 發明（設計）人： | 李小彭;朱功 | 申請（專利權）人： | 浙江生波智能裝備有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/02 | 分類號： | C23C14/02;C23C14/56;C23C14/20 |
| 代理公司： | 中山市捷凱專利商標代理事務所(特殊普通合伙) 44327 | 代理人： | 石仁 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉興市海寧*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 表面 活化 工藝 | ||
1.一種表面活化工藝室，應用于卷繞式銅膜真空鍍膜設備中，其特征在于，
表面活化工藝室的左上方和右下方分別設有加熱器，其中，左上方的加熱器用于對柔性PI基材的正面進行二次烘烤，右下方的加熱器用于對柔性PI基材的背面進行二次烘烤；
表面活化工藝室的離子源位于左上方和右下方的加熱器之間，包括第一離子源和第二離子源，其中，第一離子源位靠近左上方的加熱器并用于對柔性PI基材的背面進行材料表面活化處理，第二離子源位靠近右下方的加熱器并用于對柔性PI基材的正面進行材料表面活化處理。
2.如權利要求1所述的表面活化工藝室，其特征在于，加熱器至少包括電發熱絲、以及位于電發熱絲上方的熱輻射板，發熱絲在同一平面內迂回彎曲設置，而熱輻射板包括上下間隔設置的三層熱輻射板。
3.如權利要求1或2所述的表面活化工藝室，其特征在于，表面活化工藝室的工作壓強為0.05-0.2Pa。
4.如權利要求3所述的表面活化工藝室，其特征在于，表面活化工藝室的工作壓強為0.09Pa。
5.如權利要求3所述的表面活化工藝室，其特征在于，柔性PI基材的厚度為4.5-75μm。
6.如權利要求3所述的表面活化工藝室，其特征在于，柔性PI基材的輸送速度為0.5-1m/min。
7.如權利要求3所述的表面活化工藝室，其特征在于，表面活化工藝室內的張力在10-100N之間，波動小于1N。
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