[實用新型]一種光路調光治具、光學系統和激光加工裝置

有效

• 申請號: 202222953048.7
• 申請日: 2022-11-07
• 公開（公告）號: CN218517913U
• 公開（公告）日: 2023-02-24
• 發明（設計）人: 郭良
• 申請（專利權）人: 珠海東輝半導體裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/06
• 分類號: B23K26/06;B23K26/70
• 代理公司: 珠海得全知識產權代理事務所(普通合伙) 44947
• 代理人: 趙學超

本實用新型涉及光路校準技術領域，公開了一種光路調光治具、光學系統和激光加工裝置，能夠提升準直度的精度，且可以提升準直度的調試效率。本實用新型包括固定部、入射光部和出射光部；所述入射光部設于所述通道的第一端，所述入射光部設有入射光孔；所述出射光部設于所述通道的第二端，所述出射光部設有出射光孔，且所述出射光孔和所述入射光孔同軸設置。本實用新型在調試成像光路或激光光路時，成像光路或激光光路若能夠同時穿過入射光孔和出射光孔，同時觀察穿過出射光孔之后的光路形狀，則可以判斷對應的光路準直度是否調試好，本實用新型結構簡單、結構小、便于對成像光路或激光光路的準直度進行矯正，有效地提升了準直度的調試效率。

技術領域

本實用新型涉及光路校準技術領域，特別是一種光路調光治具、光學系統和激光加工裝置。

背景技術

現有的激光加工設備在使用前，需要分別對成像光路和激光光路進行準直矯正，而目前對成像光路和激光光路的準直矯正過程中由于沒有判斷標準，因此成像光路和激光光路的準直度調試過程中容易出現誤差，精度不高，進而造成成像質量差或是激光加工質量低。

實用新型內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型提出一種光路調光治具，能夠提升準直度的精度，且可以提升準直度的調試效率。

本實用新型還提出一種具有上述光路調光治具的光學系統。

本實用新型還提出一種具有上述光路調光治具的激光加工裝置。

一方面，根據本實用新型實施例的光路調光治具，包括固定部、入射光部和出射光部；所述固定部的內部設有通道；所述入射光部設于所述通道的第一端，所述入射光部設有入射光孔；所述出射光部設于所述通道的第二端，所述出射光部設有出射光孔，且所述出射光孔和所述入射光孔同軸設置。

根據本實用新型的一些實施例，所述入射光部與所述固定部為可拆卸連接。

根據本實用新型的一些實施例，所述出射光部與所述固定部為可拆卸連接。

根據本實用新型的一些實施例，所述入射光部還設有至少兩個形狀相同的第一通孔，至少兩個所述第一通孔以所述入射光孔為中心點且均勻分布于所述入射光部上。

根據本實用新型的一些實施例，所述第一通孔的形狀為半圓形、扇形、矩形或圓形中的一種。

根據本實用新型的一些實施例，所述固定部的側壁上設有至少兩個第二通孔，所述第二通孔與所述通道連通。

根據本實用新型的一些實施例，至少兩個所述第二通孔均勻分布于所述固定部的側壁上。

根據本實用新型的一些實施例，所述固定部的第一端還設有連接部，所述連接部用于與光學系統或激光加工裝置連接。

本實用新型實施例至少具有如下有益效果：在調試成像光路或激光光路時，成像光路或激光光路若能夠同時穿過入射光孔和出射光孔，并觀察穿過出射光孔之后的光路形狀，則可以判斷對應的光路準直度是否調試好，本實用新型結構簡單、結構小、便于對成像光路或激光光路的準直度進行矯正，有效地提升了準直度的調試效率。

另一方面，根據本實用新型實施例的光學系統，包括根據本實用新型上述實施例的光路調光治具、安裝座以及第一驅動件，所述安裝座設有位于成像光路上的安裝部，所述安裝部用于安裝所述光路調光治具，所述第一驅動件用于驅動所述安裝座移動。

本實用新型實施例至少具有如下有益效果：在調試光學系統的成像光路時，成像光路若能夠同時穿過入射光孔和出射光孔，并觀察穿過出射光孔之后的光路形狀，則可以判斷成像光路準直度是否調試好，本實用新型結構簡單、結構小、便于對成像光路的準直度進行矯正，有效地提升了準直度的調試效率。