[實用新型]一種光路調光治具、光學系統和激光加工裝置有效
| 申請號： | 202222953048.7 | 申請日： | 2022-11-07 |
| 公開（公告）號： | CN218517913U | 公開（公告）日： | 2023-02-24 |
| 發明（設計）人： | 郭良 | 申請（專利權）人： | 珠海東輝半導體裝備有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/06 | 分類號： | B23K26/06;B23K26/70 |
| 代理公司： | 珠海得全知識產權代理事務所(普通合伙) 44947 | 代理人： | 趙學超 |
| 地址： | 519080 廣東省珠海市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調光 光學系統 激光 加工 裝置 | ||
1.一種光路調光治具，其特征在于，包括：
固定部(100)，內部設有通道(110)；
入射光部(200)，設于所述通道(110)的第一端，設有入射光孔(210)；
出射光部(300)，設于所述通道(110)的第二端，設有出射光孔(310)，且所述出射光孔(310)和所述入射光孔(210)同軸設置。
2.根據權利要求1所述的光路調光治具，其特征在于：所述入射光部(200)與所述固定部(100)為可拆卸連接。
3.根據權利要求1所述的光路調光治具，其特征在于：所述出射光部(300)與所述固定部(100)為可拆卸連接。
4.根據權利要求1至3任一項所述的光路調光治具，其特征在于：所述入射光部(200)還設有至少兩個形狀相同的第一通孔(220)，至少兩個所述第一通孔(220)以所述入射光孔(210)為中心點且均勻分布于所述入射光部(200)上。
5.根據權利要求4所述的光路調光治具，其特征在于：所述第一通孔(220)的形狀為半圓形、扇形、矩形或圓形中的一種。
6.根據權利要求1至3任一項所述的光路調光治具，其特征在于：所述固定部(100)的側壁上設有至少兩個第二通孔(120)，所述第二通孔(120)與所述通道(110)連通。
7.根據權利要求6所述的光路調光治具，其特征在于：至少兩個所述第二通孔(120)均勻分布于所述固定部(100)的側壁上。
8.根據權利要求1至3任一項所述的光路調光治具，其特征在于：所述固定部(100)的第一端還設有連接部(130)，所述連接部(130)用于與光學系統或激光加工裝置連接。
9.一種光學系統，其特征在于，包括：
如權利要求1至8任一項所述的光路調光治具；
安裝座，設有位于成像光路上的安裝部，所述安裝部用于安裝所述的光路調光治具；
第一驅動件，用于驅動所述安裝座移動。
10.一種激光加工裝置，其特征在于，包括：
如權利要求1至8任一項所述的光路調光治具；
安裝座，設有位于激光光路上的安裝部，所述安裝部用于安裝所述的光路調光治具；
第一驅動件，用于驅動所述安裝座移動。
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