[實(shí)用新型]一種晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222947707.6
• 申請日: 2022-11-04
• 公開（公告）號: CN218631994U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 殷鑫;張興華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海優(yōu)睿譜半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/66
• 代理公司: 上海智晟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 張東梅

1.一種晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，包括：

底板；

晶圓卡盤，其布置于所述底板上；以及

調(diào)節(jié)裝置，其布置在所述晶圓卡盤的邊緣處，其中所述調(diào)節(jié)裝置被配置為調(diào)節(jié)所述晶圓卡盤的邊緣處的高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，包括多個(gè)調(diào)節(jié)裝置，所述多個(gè)調(diào)節(jié)裝置布置在所述晶圓卡盤的邊緣處的不同位置，其中所述多個(gè)調(diào)節(jié)裝置被配置調(diào)節(jié)所述晶圓卡盤的整體高度和水平度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)調(diào)節(jié)裝置均勻間隔布置在所述晶圓卡盤的邊緣處。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置的數(shù)量大于等于3。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述晶圓卡盤的邊緣處具有凸起，所述調(diào)節(jié)裝置布置在所述凸起處。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置包括：

固定座，其布置在所述底板上；

移動(dòng)座，其布置在所述底板上，并且所述移動(dòng)座與所述凸起連接；以及

調(diào)節(jié)螺栓，其布置在所述固定座上，并且所述調(diào)節(jié)螺栓的栓體與所述移動(dòng)座連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)座構(gòu)造有第一斜面，所述凸起構(gòu)造有第二斜面，所述第一斜面與所述第二斜面相配合，其中所述調(diào)節(jié)裝置被配置為通過旋進(jìn)或者旋出所述調(diào)節(jié)螺栓以使所述移動(dòng)座在水平方向上移動(dòng)，并且使所述第一斜面與所述第二斜面之間發(fā)生擠壓作用以使所述晶圓卡盤邊緣處在垂直方向上移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述調(diào)節(jié)裝置還包括：

鎖緊部件，其所述鎖緊部件布置在所述調(diào)節(jié)裝置與所述凸起的連接處。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述鎖緊部件是半圓頭六角鎖緊部件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓卡盤調(diào)節(jié)設(shè)備，其特征在于，所述晶圓卡盤上具有多個(gè)槽。