[實用新型]一種沉積設備

有效

• 申請號: 202222946970.3
• 申請日: 2022-11-07
• 公開（公告）號: CN218812073U
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 姚林松;陳麗祥;周宇洋
• 申請（專利權）人: 威科賽樂微電子股份有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C14/22;C23C16/458;C23C14/50;H01J37/32;H01L21/687
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 黃宗波

1.一種沉積設備，包括反應腔室、安裝在反應腔室內的加熱機構和升降臺，其特征在于：所述反應腔室內還安裝有用于翻轉晶圓的翻轉機構，所述翻轉機構包括翻轉框、驅動件和夾持件，所述翻轉框轉動安裝在反應腔室內，所述驅動件固定在反應腔室外并用于驅動翻轉框轉動，所述夾持件固定在翻轉框上并用于夾持放置在升降臺上的晶圓。

2.根據權利要求1所述的一種沉積設備，其特征在于：所述升降臺包括升降氣缸、安裝板和多根支撐柱，所述升降氣缸固定在反應腔室內的底側，所述安裝板固定在升降氣缸的輸出軸一端，多根所述支撐柱呈環形陣列結構固定在安裝板上，所述支撐柱的上端均用于支撐晶圓的邊緣部位。

3.根據權利要求2所述的一種沉積設備，其特征在于：所述翻轉框的兩側均固定有轉軸，所述轉軸轉動安裝在反應腔室內；所述驅動件為電機，所述電機的輸出軸穿至反應腔室內與其中一根轉軸固定。

4.根據權利要求3所述的一種沉積設備，其特征在于：所述夾持件的數量為兩組，兩組所述夾持件對稱設置在升降臺兩側，所述夾持件包括驅動氣缸和夾具頭，所述驅動氣缸固定在翻轉框上，所述夾具頭固定在氣缸的輸出軸一端。

5.根據權利要求4所述的一種沉積設備，其特征在于：所述夾具頭與晶圓接觸的一側設有適配晶圓邊緣的弧形槽。

6.根據權利要求1-5任一項所述的一種沉積設備，其特征在于：所述加熱機構包括安裝盤和電阻絲，所述安裝盤可拆卸安裝在反應腔室內的頂側，所述電阻絲固定在安裝盤的底側。

7.根據權利要求6所述的一種沉積設備，其特征在于：所述電阻絲呈渦旋狀結構。

8.根據權利要求7所述的一種沉積設備，其特征在于：所述加熱機構還包括多個加熱燈，多個所述加熱燈均勻設置在反應腔室內的底側。

9.根據權利要求7或8所述的一種沉積設備，其特征在于：所述反應腔室內還安裝有環形氣管，所述環形氣管位于電阻絲和支撐柱之間，所述環形氣管與反應腔室內的進氣口連通，所述環形氣管朝向反應腔室中心的一側開設有多個均勻分布的出氣孔。