[實用新型]矯正裝置以及硅片輸送設備有效
| 申請號: | 202222915796.6 | 申請日: | 2022-10-31 |
| 公開(公告)號: | CN218786324U | 公開(公告)日: | 2023-04-04 |
| 發明(設計)人: | 張勇;譚孟東;汪林;鄧金生 | 申請(專利權)人: | 深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司 |
| 主分類號: | B65G47/24 | 分類號: | B65G47/24;B65G43/08;B65G35/00 |
| 代理公司: | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人: | 林明校 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市坪山*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 矯正 裝置 以及 硅片 輸送 設備 | ||
本實用新型公開了一種矯正裝置以及硅片輸送設備,其中矯正裝置包括:執行機構以及驅動機構。執行機構包括兩個移動件以及多個矯正組,兩個移動件沿第一方向延伸,并沿第二方向并列設置,第一方向垂直于第二方向,多個矯正組沿第一方向分布,矯正組包括兩個抵持組件,抵持組件包括抵持件,各矯正組的兩個抵持組件的抵持件分別連接于兩個移動件,并沿第一方向相向設置;驅動機構包括驅動元件,驅動元件連接兩個移動件,以驅動兩個移動件沿第一方向相對移動,以使各矯正組的兩個抵持組件的抵持件相互靠近或遠離。應用于硅片輸送設備時,能夠同時矯正多個輸送件上的硅片,提高工作效率,且無需設置多個驅動元件,使得結構更加簡單,成本更低。
技術領域
本實用新型涉及機械加工技術領域,特別涉及一種矯正裝置以及硅片輸送設備。
背景技術
硅片在皮帶線上的傳輸更容易歪斜,從而造成堵片,碎片,影響設備產能,造成不必要的經濟損失。在相關技術中,硅片校正多為每通道硅片單獨校正,每通道由單獨的動力源驅動執行機構往復運動,實現硅片的矯正,使得設備整體結構復雜,成本高。
實用新型內容
本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此,本實用新型提出一種矯正裝置,能夠用于硅片輸送中多軌道同時矯正,結構簡單,成本低。
本實用新型還提供了一種包括上述矯正裝置的硅片輸送設備。
根據本實用新型的第一方面實施例的矯正裝置,包括:
執行機構,包括兩個移動件以及多個矯正組,兩個所述移動件沿第一方向延伸,并沿第二方向并列設置,所述第一方向垂直于所述第二方向,多個所述矯正組沿第一方向分布,所述矯正組包括兩個抵持組件,所述抵持組件包括抵持件,各所述矯正組的兩個所述抵持組件的所述抵持件分別連接于兩個所述移動件,并沿所述第一方向相向設置;
驅動機構,包括驅動元件,所述驅動元件連接兩個所述移動件,以驅動兩個所述移動件沿第一方向相對移動,以使各所述矯正組的兩個所述抵持組件的所述抵持件相互靠近或遠離。
根據本實用新型實施例的矯正裝置,至少具有如下有益效果:
沿第一方向間隔設置有多個矯正組,矯正組具有兩個抵持組件,各矯正組的兩個抵持組件的抵持件分別連接在兩個移動件上,僅通過一個驅動元件連接兩個移動件,以驅動移動件運動,從而帶動各矯正組的兩個抵持組件的抵持件相互靠近或遠離。當兩個抵持組件的抵持件相互靠近時,能夠將輸送件上的硅片,矯正在設定位置,應用于硅片輸送設備時,能夠同時矯正多個輸送件上的硅片,提高工作效率,且無需設置多個驅動元件,使得結構更加簡單,成本更低。
根據本實用新型的一些實施例,所述抵持組件還包括過渡件,所述過渡件沿第二方向延伸,所述過渡件連接于所述移動件,沿所述第二方向,所述過渡件上連接有多個抵持件。
根據本實用新型的一些實施例,所述抵持件可拆卸地連接于所述過渡件。
根據本實用新型的一些實施例,所述抵持組件還包括多個鎖緊件,沿所述第二方向,所述抵持組件的多個所述抵持件中至少首位的所述抵持件,與末位的抵持件能夠相對所述移動件沿所述第二方向活動,并通過所述鎖緊件鎖緊于所述過渡件,以調節首位的所述抵持件與末位的所述抵持件所述第二方向的間距。
根據本實用新型的一些實施例,所述過渡件設置有連接孔,所述鎖緊件穿設于所述連接孔,并與所述抵持件螺紋連接;
沿所述第二方向,所述過渡件間隔設置有多個所述連接孔,所述連接孔的數量大于所述抵持件的數量;
或者,所述連接孔具有沿第二方向延伸的輪廓。
根據本實用新型的一些實施例,兩個所述抵持組件中至少一個所述抵持組件的各所述抵持件能夠相對所述過渡件沿所述第一方向活動,以調節兩個所述抵持組件的所述抵持件沿所述第一方向的最小間距。
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