[實用新型]矯正裝置以及硅片輸送設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222915796.6
• 申請日: 2022-10-31
• 公開（公告）號: CN218786324U
• 公開（公告）日: 2023-04-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張勇;譚孟東;汪林;鄧金生
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號: B65G47/24
• 分類號: B65G47/24;B65G43/08;B65G35/00
• 代理公司: 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 44205
• 代理人: 林明校

1.矯正裝置，其特征在于，包括：

執(zhí)行機(jī)構(gòu)，包括兩個移動件以及多個矯正組，兩個所述移動件沿第一方向延伸，并沿第二方向并列設(shè)置，所述第一方向垂直于所述第二方向，多個所述矯正組沿第一方向分布，所述矯正組包括兩個抵持組件，所述抵持組件包括抵持件，各所述矯正組的兩個所述抵持組件的所述抵持件分別連接于兩個所述移動件，并沿所述第一方向相向設(shè)置；

驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括驅(qū)動元件，所述驅(qū)動元件連接兩個所述移動件，以驅(qū)動兩個所述移動件沿第一方向相對移動，以使各所述矯正組的兩個所述抵持組件的所述抵持件相互靠近或遠(yuǎn)離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的矯正裝置，其特征在于，所述抵持組件還包括過渡件，所述過渡件沿第二方向延伸，所述過渡件連接于所述移動件，沿所述第二方向，所述過渡件上連接有多個抵持件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的矯正裝置，其特征在于，所述抵持件可拆卸地連接于所述過渡件。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的矯正裝置，其特征在于，所述抵持組件還包括多個鎖緊件，沿所述第二方向，所述抵持組件的多個所述抵持件中至少首位的所述抵持件，與末位的抵持件能夠相對所述過渡件沿所述第二方向活動，并通過所述鎖緊件鎖緊于所述過渡件，以調(diào)節(jié)首位的所述抵持件與末位的所述抵持件沿所述第二方向的間距。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的矯正裝置，其特征在于，所述過渡件設(shè)置有連接孔，所述鎖緊件穿設(shè)于所述連接孔，并與所述抵持件螺紋連接；

沿所述第二方向，所述過渡件間隔設(shè)置有多個所述連接孔，所述連接孔的數(shù)量大于所述抵持件的數(shù)量；

或者，所述連接孔具有沿第二方向延伸的輪廓。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的矯正裝置，其特征在于，所述矯正組的兩個所述抵持組件中，至少一個所述抵持組件的各所述抵持件能夠相對所述過渡件沿所述第一方向活動，以調(diào)節(jié)兩個所述抵持組件的所述抵持件沿所述第一方向的最小間距。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的矯正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括旋轉(zhuǎn)件以及驅(qū)動件，所述旋轉(zhuǎn)件沿所述第一方向延伸，所述旋轉(zhuǎn)件的外部至少套設(shè)有兩個對稱設(shè)置的所述驅(qū)動件，所述驅(qū)動件的徑向外側(cè)面環(huán)繞設(shè)置有滑槽，且至少部分所述滑槽相對于所述驅(qū)動件的旋轉(zhuǎn)軸傾斜設(shè)置，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)還包括至少兩個連接件，兩個所述連接件的一端分別連接于兩個所述移動件，另一端分別滑動連接于所述滑槽內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的矯正裝置，其特征在于，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)還包括滾動件，各所述連接件的靠近所述驅(qū)動件的一端均連接有所述滾動件，且所述滾動件與所述連接件可滾動連接，所述滾動件設(shè)置于所述滑槽內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的矯正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座，所述旋轉(zhuǎn)件可轉(zhuǎn)動地連接于所述固定座，所述矯正裝置還包括位置傳感器以及檢測件，所述位置傳感器連接于所述固定座，所述檢測件連接于所述旋轉(zhuǎn)件，所述檢測件能夠隨所述旋轉(zhuǎn)件轉(zhuǎn)動，所述位置傳感器配置為：所述檢測件隨所述旋轉(zhuǎn)件旋轉(zhuǎn)至設(shè)定位置，所述位置傳感器的觸發(fā)狀態(tài)發(fā)生改變并產(chǎn)生確認(rèn)信號。

10.硅片輸送設(shè)備，其特征在于，包括：

多個輸送件，沿所述第一方向間隔分布，各所述輸送件能夠沿所述第二方向移動，用于輸送硅片；

權(quán)利要求1至9中任一項所述的矯正裝置，多個所述矯正組與多個所述輸送件一一對應(yīng)，且各所述矯正組的兩個所述抵持組件的所述抵持件分別設(shè)置于所述輸送件的沿所述第一方向的兩側(cè)。