[實用新型]磁體系統、濺射設備和殼體蓋有效
| 申請號: | 202222849956.1 | 申請日: | 2022-10-27 |
| 公開(公告)號: | CN218932278U | 公開(公告)日: | 2023-04-28 |
| 發明(設計)人: | T·桑德;K·施耐德;F·梅斯納;G·格羅斯;S·莫沙默 | 申請(專利權)人: | 馮·阿登納資產股份有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/35 | 分類號: | C23C14/35;C23C14/54;H05H1/30;H05H1/34;H05H1/46 |
| 代理公司: | 北京市鑄成律師事務所 11313 | 代理人: | 王珺;李文穎 |
| 地址: | 德國德*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 磁體 系統 濺射 設備 殼體 | ||
1.一種磁體系統(100),其特征在于,包括:
殼體(406g),所述殼體具有殼體內部空間(406h);
磁體載體(102),所述磁體載體設置在所述殼體內部空間(406h)中并且借助于所述殼體(406g)支承;
殼體蓋(406d),所述殼體蓋以與所述殼體(406g)拼接在一起的方式形成流體密封的腔室;
其中所述殼體蓋(406d)具有變速器級(804)、發電機(308)和將所述變速器級(804)與所述發電機(308)聯接的轉動饋通件(850)。
2.根據權利要求1所述的磁體系統(100),其特征在于,所述磁體載體借助于所述殼體(406g)以相對于所述殼體位置固定的方式支承。
3.根據權利要求1所述的磁體系統(100),其特征在于,所述殼體蓋(406d)具有法蘭(802p),所述法蘭設置在所述變速器級(804)和所述發電機(308)之間,其中所述轉動饋通件(850)穿過所述法蘭(802p)將所述變速器級(804)和所述發電機(308)彼此聯接。
4.根據權利要求3所述的磁體系統(100),其特征在于,所述殼體蓋(406d)具有轉動支承件,所述變速器級(804)的驅動側的變速器輪借助于所述轉動支承件與所述法蘭(802p)聯接。
5.根據權利要求4所述的磁體系統(100),其特征在于,所述變速器級(804)具有發電機側的變速器輪,所述發電機側的變速器輪接觸所述驅動側的變速器輪和/或所述轉動饋通件(850)。
6.根據權利要求1所述的磁體系統(100),其特征在于,所述殼體蓋(406d)具有驅動側的驅動聯接器,所述驅動聯接器設計用于:將轉矩傳遞到所述變速器級(804)上,和/或所述驅動聯接器由所述變速器級(804)承載。
7.根據權利要求6所述的磁體系統(100),其特征在于,所述驅動聯接器具有轉矩支柱,所述轉矩支柱固定在所述變速器級(804)處并且延伸遠離所述發電機(308)。
8.根據權利要求1所述的磁體系統(100),其特征在于,所述變速器級(804)具有內齒圈作為驅動側的變速器輪。
9.根據權利要求1所述的磁體系統(100),其特征在于,所述殼體蓋(406d)具有通信接口,所述通信接口與所述發電機(308)剛性聯接,其中所述變速器級(804)設置在所述發電機(308)和所述通信接口之間。
10.根據權利要求9所述的磁體系統(100),其特征在于,所述通信接口具有板電極,其中所述殼體蓋(406d)具有電接口,所述電接口朝向所述發電機(308)設置并且導電地與所述板電極聯接。
11.根據權利要求10所述的磁體系統(100),其特征在于,所述電接口朝向所述發電機(308)設置并且歐姆地與所述板電極聯接。
12.根據權利要求1至11中任一項所述的磁體系統(100),其特征在于,還包括:
致動器(106),所述致動器借助于所述發電機(308)供電并且具有控制輸入端,所述控制輸入端與所述殼體蓋(406d)導電耦聯;和
至少一個磁體,所述磁體借助于所述致動器(106)與所述磁體載體(102)聯接并且設置在所述殼體內部空間(406h)中,
其中所述致動器(106)設計用于:響應于借助所述轉動饋通件(850)輸送給所述控制輸入端的電通信信號改變所述磁體相對于所述磁體載體(102)的方位。
13.根據權利要求12所述的磁體系統(100),其特征在于,所述控制輸入端與所述殼體蓋(406d)歐姆耦聯。
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