[實(shí)用新型]晶圓定位結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222841140.4
• 申請(qǐng)日: 2022-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN219017617U
• 公開（公告）日: 2023-05-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭勇;聶冠翱;王齊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泉州市三安集成電路有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 35204
• 代理人: 連耀忠

本實(shí)用新型公開了一種晶圓定位結(jié)構(gòu)，包括晶圓固定環(huán)和夾盤，夾盤包括底板、定位柱和卡接部，定位柱和卡接部分別設(shè)于底板上相對(duì)的兩側(cè)，晶圓固定環(huán)的中間為第一通孔，晶圓安裝固定于晶圓固定環(huán)的第一通孔內(nèi)，晶圓固定環(huán)設(shè)有從外邊緣向內(nèi)延伸形成的開口槽，當(dāng)晶圓固定環(huán)固定安裝于夾盤上時(shí)，于晶圓固定環(huán)安裝的第一方向上使晶圓固定環(huán)的外邊緣卡合于卡接部，于晶圓固定環(huán)安裝的第二方向上使開口槽的第一邊緣抵靠于定位柱上，實(shí)現(xiàn)晶圓固定環(huán)與夾盤的精準(zhǔn)定位，并且可使晶圓固定環(huán)快速安裝在夾盤上，有效減少人工對(duì)位耗時(shí)，提高定位的準(zhǔn)確性，能夠提高生產(chǎn)效率并降低成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及封裝測(cè)試領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓定位結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體封測(cè)過(guò)程中，只需選擇良品晶粒進(jìn)行焊接制程，需先對(duì)整片晶圓與晶粒良品記錄圖進(jìn)行對(duì)位，由于良品晶粒和不良品晶粒在前制程中已記錄在晶粒良品記錄圖，因此根據(jù)晶粒良品記錄圖與晶圓的對(duì)位，便可在晶圓上準(zhǔn)確找到良品晶粒的坐標(biāo)。

在GGI制程中，站點(diǎn)更換晶圓后需要進(jìn)行定位，目前主要采用人工4點(diǎn)定位，人工定位動(dòng)作繁瑣，容易出錯(cuò)，對(duì)操作員要求較高，并且有晶粒良品記錄圖錯(cuò)位的風(fēng)險(xiǎn)，晶粒良品記錄圖錯(cuò)位是封測(cè)行業(yè)的嚴(yán)重缺陷，會(huì)導(dǎo)致整個(gè)批號(hào)的晶圓報(bào)廢，降低良率，并且更換晶圓后人工定位耗時(shí)約42s/片，導(dǎo)致生產(chǎn)效率較低、成本較高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，提供一種晶圓定位結(jié)構(gòu)。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：

一種晶圓定位結(jié)構(gòu)，包括晶圓固定環(huán)和夾盤，所述夾盤包括底板、定位柱和卡接部，所述定位柱和卡接部分別設(shè)于所述底板上相對(duì)的兩側(cè)；所述晶圓固定環(huán)的中間為第一通孔，晶圓安裝固定于所述晶圓固定環(huán)的第一通孔內(nèi)，所述晶圓固定環(huán)設(shè)有從外邊緣向內(nèi)延伸形成的開口槽，當(dāng)所述晶圓固定環(huán)固定安裝于所述夾盤上時(shí)，于所述晶圓固定環(huán)安裝的第一方向上使所述晶圓固定環(huán)的外邊緣卡合于所述卡接部，于所述晶圓固定環(huán)安裝的第二方向上使所述開口槽的第一邊緣抵靠于所述定位柱上，所述第一方向與第二方向互相垂直。

作為優(yōu)選，所述開口槽的第一邊緣的形狀為與所述第二方向傾斜設(shè)置的斜邊或弧形邊，所述開口槽還包括與所述第二方向平行的第二邊緣。

作為優(yōu)選，所述卡接部設(shè)有卡槽，所述卡槽的底面與所述第二方向平行，在所述第一方向上所述晶圓固定環(huán)可抵接于所述卡槽的底面，所述晶圓固定環(huán)與所述卡槽的底面抵接的邊為與所述第二方向平行的平邊。

作為優(yōu)選，所述晶圓具有平邊，所述卡接部設(shè)置在所述底板上遠(yuǎn)離晶圓的平邊的一側(cè)，所述定位柱設(shè)置在所述底板上靠近晶圓的平邊的一側(cè)。

作為優(yōu)選，所述底板中間為第二通孔，當(dāng)所述晶圓固定環(huán)固定安裝于所述夾盤上時(shí)，所述第二通孔與第一通孔相對(duì)設(shè)置。

作為優(yōu)選，所述晶圓通過(guò)UV膜固定于晶圓固定環(huán)上，當(dāng)所述晶圓固定環(huán)固定安裝于所述夾盤上時(shí)，所述第二通孔在所述晶圓固定環(huán)上的投影區(qū)域位于所述第一通孔內(nèi)。

作為優(yōu)選，所述夾盤還包括環(huán)形的支撐臺(tái)，所述支撐臺(tái)環(huán)設(shè)于所述底板的第二通孔的邊緣，所述晶圓固定環(huán)的UV膜放置于所述支撐臺(tái)上。

作為優(yōu)選，所述底板設(shè)有螺紋孔，所述定位柱的一端設(shè)有外螺紋，并螺接于所述底板的螺紋孔上。

作為優(yōu)選，所述夾盤還包括至少兩個(gè)相對(duì)設(shè)置的固定件，所述固定件可轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述底板上，并分別限位于所述晶圓固定環(huán)安裝的第一方向和第二方向的反方向。

作為優(yōu)選，所述固定件包括支撐桿、控制桿和限位板，所述控制桿與所述限位板固定連接，所述限位板安裝于所述支撐桿上，并通過(guò)所述支撐桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述底板上，使所述限位板位于所述晶圓固定環(huán)上方。

相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果為：