[實用新型]一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222817775.0
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN218546438U
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉敏;劉丹;溫俊
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢固瑞得科技有限公司
• 主分類號: G01N7/04
• 分類號: G01N7/04
• 代理公司: 武漢紅觀專利代理事務(wù)所(普通合伙) 42247
• 代理人: 黃鑫

本實用新型提出了一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，包括設(shè)備主體、第一罐體、第二罐體、儲氣罐、真空計、第一控制閥及微調(diào)閥，設(shè)備主體內(nèi)設(shè)置有檢測腔室，檢測腔室內(nèi)設(shè)置有NEG膜，檢測腔室能夠被外部設(shè)備抽真空，第一罐體與檢測腔室及第二罐體相連通，第二罐體與儲氣罐相連通，第二罐體的容積大于第一罐體，儲氣罐內(nèi)儲存惰性氣體，真空計用于檢測第一罐體與第二罐體內(nèi)的真空度，微調(diào)閥用于控制第一罐體向檢測腔室內(nèi)輸送的氣體量；先將惰性氣體輸入容積較大的第二罐體，然后在將第二罐體內(nèi)的氣體輸入容積較小的第一罐體，最后通過微調(diào)閥將第一罐體內(nèi)的氣體輸入檢測罐，能夠通過檢測兩個罐體內(nèi)的真空度變化來精準(zhǔn)的控制氣體的輸送量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及NEG膜抽真空吸氣試驗技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置。

背景技術(shù)

NEG膜廣泛應(yīng)用于密閉空間如真空夾層玻璃、真空絕熱板等中，以獲得和維持其內(nèi)部真空，因此測試NEG膜吸氣性能非常有必要。一般采用定容法或者定壓法測試NEG吸氣性能。專利文獻CN114965152A就公開了一種基于固定流導(dǎo)元件改進定壓法測試NEG吸氣性能系統(tǒng)。而定容法可以獲得NEG膜的飽和吸氣量、平均吸氣速率和吸氣等溫線等靜態(tài)吸氣性能參數(shù)。定容法一般是將NEG膜置于一密封空間中，然后間隔多次向密封空間內(nèi)輸入定量的惰性氣體，然后檢測NEG膜的各項吸氣性能參數(shù)。因此NEG膜吸氣性能與其吸氣容量有關(guān)，容量越大其吸氣性能就越好。為了進行檢測的精確性，進行吸氣測試時不僅需要能夠精準(zhǔn)的控制單次試驗中的惰性氣體的輸入量，而且還要避免其他的雜質(zhì)其他進入密封空間內(nèi)，對檢測結(jié)構(gòu)造成不良影響。

現(xiàn)有的檢測裝置，多數(shù)能夠保證檢測空間的密封性，但現(xiàn)有的檢測裝置通常采用氣體流量計來控制單次試驗的氣體輸入量，而實際上單次試驗中惰性氣體的輸入量是極少的，而且需要盡可能的精準(zhǔn)，所以現(xiàn)有的采用氣體流量計控制氣體輸入量的檢測裝置難以達到精確輸入的目的，從而造成最后檢測結(jié)果會存在較大的誤差。因此，目前的NEG膜吸氣性能試驗通常會采用操作難度較小的定壓法進行試驗，但這又導(dǎo)致難以獲得定容法所檢測的部分參數(shù)。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型提出了一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，用于解決現(xiàn)有的試驗檢測裝置采用氣體流量計難以精確控制單次試驗的氣體輸入量，會降低試驗測量精確性的問題。

本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：本實用新型提供了一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，包括設(shè)備主體，設(shè)備主體內(nèi)設(shè)置有檢測腔室，檢測腔室內(nèi)設(shè)置有NEG膜，檢測腔室能夠被外部設(shè)備抽真空，還包括第一罐體、第二罐體、儲氣罐、真空計、第一控制閥及微調(diào)閥；第一罐體一端連接到設(shè)備主體并與檢測腔室相連通，第一罐體另一端與第二罐體相連通；第二罐體遠離第一罐體的一端與儲氣罐相連通，第二罐體的容積大于第一罐體；儲氣罐內(nèi)儲存惰性氣體；兩個真空計分別設(shè)置在第一罐體與第二罐體上，真空計用于檢測第一罐體與第二罐體內(nèi)的真空度；兩個第一控制閥分別設(shè)置在第一罐體與第二罐體之間以及第二罐體與儲氣罐之間；微調(diào)閥設(shè)置在第一罐體與設(shè)備主體之間，微調(diào)閥用于控制第一罐體向檢測腔室內(nèi)輸送的氣體量。

在以上技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，優(yōu)選的，設(shè)備主體包括檢測罐、管筒及殘余氣體分析裝置；檢測罐內(nèi)開設(shè)有檢測腔室；管筒一端連接到檢測罐并與檢測腔室相連通，管筒另一端朝遠離檢測罐的方向延伸，管筒內(nèi)填充NEG膜，NEG膜的其中一端插入檢測腔室內(nèi)；兩個殘余氣體分析裝置分別設(shè)置在管筒遠離檢測罐的一端以及檢測罐上。

更進一步優(yōu)選的，還包括輸氣管；輸氣管一端連接到檢測罐并與檢測腔室相連通，輸氣管另一端連通到第二罐體遠離第一罐體的一端；儲氣罐連接到輸氣管上，儲氣罐能夠連通輸氣管或與輸氣管斷開連通。

更進一步優(yōu)選的，至少兩個儲氣罐同時連通到輸氣管上，各儲氣罐內(nèi)儲存不同的惰性氣體。

更進一步優(yōu)選的，還包括杜瓦瓶，杜瓦瓶連通到輸氣管上，杜瓦瓶位于儲氣罐與第二罐體之間，杜瓦瓶與第二罐體之間設(shè)置第一控制閥。

更進一步優(yōu)選的，還包括離子泵，離子泵設(shè)置于檢測罐，離子泵用于對檢測腔室抽真空。