[實用新型]一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置

有效

• 申請號: 202222817775.0
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN218546438U
• 公開（公告）日: 2023-02-28
• 發明（設計）人: 劉敏;劉丹;溫俊
• 申請（專利權）人: 武漢固瑞得科技有限公司
• 主分類號: G01N7/04
• 分類號: G01N7/04
• 代理公司: 武漢紅觀專利代理事務所(普通合伙) 42247
• 代理人: 黃鑫

1.一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，包括設備主體(1)，設備主體(1)內設置有檢測腔室，檢測腔室內設置有NEG膜，檢測腔室能夠被外部設備抽真空，其特征在于：還包括第一罐體(2)、第二罐體(3)、儲氣罐(4)、真空計(5)、第一控制閥(6)及微調閥(7)；

所述第一罐體(2)一端連接到設備主體(1)并與檢測腔室相連通，所述第一罐體(2)另一端與第二罐體(3)相連通；

所述第二罐體(3)遠離第一罐體(2)的一端與儲氣罐(4)相連通，所述第二罐體(3)的容積大于第一罐體(2)；

所述儲氣罐(4)內儲存惰性氣體；

兩個所述真空計(5)分別設置在第一罐體(2)與第二罐體(3)上，所述真空計(5)用于檢測第一罐體(2)與第二罐體(3)內的真空度；

兩個所述第一控制閥(6)分別設置在第一罐體(2)與第二罐體(3)之間以及第二罐體(3)與儲氣罐(4)之間；

所述微調閥(7)設置在第一罐體(2)與設備主體(1)之間，所述微調閥(7)用于控制第一罐體(2)向檢測腔室內輸送的氣體量。

2.根據權利要求1所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：設備主體(1)包括檢測罐(101)、管筒(102)及殘余氣體分析裝置(103)；

所述檢測罐(101)內開設有檢測腔室；

所述管筒(102)一端連接到檢測罐(101)并與檢測腔室相連通，所述管筒(102)另一端朝遠離檢測罐(101)的方向延伸，所述管筒(102)內填充NEG膜，NEG膜的其中一端插入檢測腔室內；

兩個所述殘余氣體分析裝置(103)分別設置在管筒(102)遠離檢測罐(101)的一端以及檢測罐(101)上。

3.根據權利要求2所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：還包括輸氣管(8)；

所述輸氣管(8)一端連接到檢測罐(101)并與檢測腔室相連通，所述輸氣管(8)另一端連通到第二罐體(3)遠離第一罐體(2)的一端；

所述儲氣罐(4)連接到輸氣管(8)上，所述儲氣罐(4)能夠連通輸氣管(8)或與輸氣管(8)斷開連通。

4.根據權利要求3所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：至少兩個所述儲氣罐(4)同時連通到輸氣管(8)上，各所述儲氣罐(4)內儲存不同的惰性氣體。

5.根據權利要求3所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：還包括杜瓦瓶(9)，所述杜瓦瓶(9)連通到輸氣管(8)上，所述杜瓦瓶(9)位于儲氣罐(4)與第二罐體(3)之間，所述杜瓦瓶(9)與第二罐體(3)之間設置第一控制閥(6)。

6.根據權利要求2所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：還包括離子泵(10)，所述離子泵(10)設置于檢測罐(101)，所述離子泵(10)用于對檢測腔室抽真空。

7.根據權利要求3所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：還包括三通接頭(11)及分子泵(12)；

所述三通接頭(11)連通在檢測罐(101)與輸氣管(8)連通檢測罐(101)的一端之間；

所述分子泵(12)連通在三通接頭(11)上。

8.根據權利要求7所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：所述設備主體(1)還包括角閥(104)，所述角閥(104)設置在三通接頭(11)與檢測罐(101)之間。

9.根據權利要求7所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：還包括第二控制閥(13)，所述第二控制閥(13)設置在輸氣管(8)連通三通接頭(11)的端部上。

10.根據權利要求1所述的一種用于NEG膜的抽真空檢測裝置，其特征在于：所述真空計(5)為薄膜規。