[實用新型]一種光罩夾具

有效

• 申請號: 202222815401.5
• 申請日: 2022-10-25
• 公開（公告）號: CN218488211U
• 公開（公告）日: 2023-02-17
• 發明（設計）人: 孫秉群
• 申請（專利權）人: 合肥晶合集成電路股份有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 鄭星

本實用新型提供一種光罩夾具，包括：相對設置的第一支撐結構和第二支撐結構、至少兩個第一移動夾具、至少兩個第二移動夾具、第一轉軸、第二轉軸、第三轉軸、連接柱和手柄；第一支撐結構的內側設置有至少兩個第一移動夾具，第一支撐結構的外側通過第一轉軸和連接柱的第一端轉動連接；第一支撐結構的內側為第一支撐結構朝向第二支撐結構的一側；第二支撐結構的內側設置有至少兩個第二移動夾具，第二支撐結構的外側通過第二轉軸和連接柱的第二端轉動連接；第二支撐結構的內側為第二支撐結構朝向第一支撐結構的一側；手柄的一端通過第三轉軸與連接柱轉動連接。本實用新型提供的光罩夾具保障了在夾取光罩時所述光罩不易脫落。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種光罩夾具。

背景技術

光罩作為半導體制備過程中的重要器件，在夾取過程中需要保證其安全性，現有技術通常使用Y型光罩夾對光罩進行夾取，但Y型光罩夾多應用在手持檢驗光罩，或是機臺故障需要手取光罩來排除機臺異常時。不僅如此，且Y型光罩夾在進行光罩夾取時還有許多限制，比如夾取過程中因光罩夾本身的機構限制,容易出現夾取過程中光罩掉落風險以及刮傷和光罩膜面受損的問題。而由于光罩屬于客戶的資產,光罩受損同樣會造成客戶的損失。

因此，如何提供一種光罩夾具，以克服現有技術中存在的上述缺陷，日益成為本領域技術人員亟待解決的技術問題之一。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光罩夾具，以解決現有技術存在的Y型光罩夾使用受限，以及使用過程中光罩易掉落受損的問題。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種光罩夾具，包括：相對設置的第一支撐結構和第二支撐結構、至少兩個第一移動夾具、至少兩個第二移動夾具、第一轉軸、第二轉軸、第三轉軸、連接柱和手柄；

其中，所述第一支撐結構的內側設置有至少兩個所述第一移動夾具，所述第一支撐結構的外側通過所述第一轉軸和所述連接柱的第一端轉動連接；其中，所述第一支撐結構的內側為所述第一支撐結構朝向所述第二支撐結構的一側，所述第一支撐結構的外側為所述第一支撐結構遠離所述第二支撐結構的一側；

所述第二支撐結構的內側設置有至少兩個所述第二移動夾具，所述第二支撐結構的外側通過所述第二轉軸和所述連接柱的第二端轉動連接；其中，所述第二支撐結構的內側為所述第二支撐結構朝向所述第一支撐結構的一側，所述第二支撐結構的外側為所述第二支撐結構遠離所述第一支撐結構的一側；

所述手柄的一端通過所述第三轉軸與所述連接柱轉動連接。

可選的，還包括第一線性導軌和第二線性導軌；

其中，所述第一線性導軌設置在所述第一支撐結構內側，至少兩個所述第一移動夾具滑動設置在所述第一線性導軌上；

所述第二線性導軌設置在所述第二支撐結構內側，至少兩個所述第二移動夾具滑動設置在所述第二線性導軌上。

可選的，所述第一轉軸和所述第二轉軸能夠以第一軸線為軸旋轉360°，所述第三轉軸能夠以第二軸線為軸旋轉360°；其中，所述第二軸線為所述手柄的軸線，所述第一軸線垂直于所述第二軸線。

可選的，所述手柄包括：第四轉軸、第一段手柄和第二段手柄；

其中，所述第一段手柄的第一端通過所述第三轉軸與所述連接柱轉動連接；

所述第二段手柄的第一端通過所述第四轉軸和所述第一段手柄的第二端轉動連接。

可選的，所述手柄上還包括第四轉軸開關和第四轉軸鎖止開關；

其中，所述第四轉軸開關控制所述第四轉軸的轉動開啟，所述第四轉軸鎖止開關控制所述第四轉軸的轉動停止。

所述第四轉軸開關和所述第四轉軸鎖止開關分別設置在所述手柄的兩個側面。