[實用新型]一種光罩夾具有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222815401.5 | 申請日： | 2022-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN218488211U | 公開（公告）日： | 2023-02-17 |
| 發(fā)明（設計）人： | 孫秉群 | 申請（專利權）人： | 合肥晶合集成電路股份有限公司 |
| 主分類號： | B25B11/00 | 分類號： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭星 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 夾具 | ||
1.一種光罩夾具，其特征在于，包括：相對設置的第一支撐結構和第二支撐結構、至少兩個第一移動夾具、至少兩個第二移動夾具、第一轉軸、第二轉軸、第三轉軸、連接柱和手柄；
其中，所述第一支撐結構的內(nèi)側設置有至少兩個所述第一移動夾具，所述第一支撐結構的外側通過所述第一轉軸和所述連接柱的第一端轉動連接；其中，所述第一支撐結構的內(nèi)側為所述第一支撐結構朝向所述第二支撐結構的一側，所述第一支撐結構的外側為所述第一支撐結構遠離所述第二支撐結構的一側；
所述第二支撐結構的內(nèi)側設置有至少兩個所述第二移動夾具，所述第二支撐結構的外側通過所述第二轉軸和所述連接柱的第二端轉動連接；其中，所述第二支撐結構的內(nèi)側為所述第二支撐結構朝向所述第一支撐結構的一側，所述第二支撐結構的外側為所述第二支撐結構遠離所述第一支撐結構的一側；
所述手柄的一端通過所述第三轉軸與所述連接柱轉動連接。
2.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，還包括第一線性導軌和第二線性導軌；
其中，所述第一線性導軌設置在所述第一支撐結構內(nèi)側，至少兩個所述第一移動夾具滑動設置在所述第一線性導軌上；
所述第二線性導軌設置在所述第二支撐結構內(nèi)側，至少兩個所述第二移動夾具滑動設置在所述第二線性導軌上。
3.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述第一轉軸和所述第二轉軸能夠以第一軸線為軸旋轉360°，所述第三轉軸能夠以第二軸線為軸旋轉360°；其中，所述第二軸線為所述手柄的軸線，所述第一軸線垂直于所述第二軸線。
4.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述手柄包括：第四轉軸、第一段手柄和第二段手柄；
其中，所述第一段手柄的第一端通過所述第三轉軸與所述連接柱轉動連接；
所述第二段手柄的第一端通過所述第四轉軸和所述第一段手柄的第二端轉動連接。
5.如權利要求4所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述手柄上還包括第四轉軸開關和第四轉軸鎖止開關；
其中，所述第四轉軸開關控制所述第四轉軸的轉動開啟，所述第四轉軸鎖止開關控制所述第四轉軸的轉動停止；
所述第四轉軸開關和所述第四轉軸鎖止開關分別設置在所述手柄的兩個側面。
6.如權利要求4所述的一種光罩夾具，其特征在于，還包括多個電控馬達，多個所述電控馬達分別控制所述第一轉軸、所述第二轉軸、所述第三轉軸和所述第四轉軸的轉動。
7.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述手柄上還包括一電量顯示單元。
8.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述手柄上還包括一靜電消除裝置，所述靜電消除裝置用于消除所述光罩夾具的靜電。
9.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述手柄上還包括第一轉軸開關和第二轉軸開關；
其中，所述第一轉軸開關控制所述第一轉軸和所述第二轉軸的轉動的啟停；
所述第二轉軸開關控制所述第三轉軸的轉動的啟停。
10.如權利要求1所述的一種光罩夾具，其特征在于，所述連接柱為圓弧形，所述手柄的第一端通過所述第三轉軸與所述連接柱遠離所述第一支撐結構和所述第二支撐結構的一側連接。
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