[實用新型]一種穩定單晶硅棒的裝置

有效

• 申請號: 202222801438.2
• 申請日: 2022-10-24
• 公開（公告）號: CN218262817U
• 公開（公告）日: 2023-01-10
• 發明（設計）人: 李鑫;許堃;李安君;朱厚軍;高貽剛
• 申請（專利權）人: 宇澤半導體（云南）有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 云南恒于知行知識產權代理有限公司 53225
• 代理人: 李寧

本實用新型涉及一種穩定單晶硅棒的裝置，屬于單晶硅棒取棒輔助裝置技術領域。所述的穩定單晶硅棒的裝置包括單晶棒防晃動支撐架、支撐軟氈、單晶棒下落支撐裝置；所述的單晶棒防晃動支撐架設置在單晶爐副室下口處，支撐軟氈環繞設置在單晶爐副室下口內壁上，支撐軟氈的厚度適應單晶棒和單晶爐副室下口內壁之間的距離，單晶棒下落支撐裝置設置在單晶爐副室下口下側，并通過單晶棒防晃動支撐架支撐安裝。本實用新型通過在單晶爐副室下口內部增加單晶棒防晃動裝置，解決了取棒時晶棒不穩晃動碰到爐壁的現狀，使得單晶棒在副室旋轉時，副室內單晶棒不會發生晃動，防止了單晶棒和副室內壁發生磕碰，降低了單晶棒掉棒等重大異常事故的發生。

技術領域

本實用新型屬于單晶硅棒取棒輔助裝置技術領域，具體的說，涉及一種穩定單晶硅棒的裝置。

背景技術

在傳統RCZ單晶拉制過程中，根據不同產品需求，一個石英坩堝會拉制不同根數的單晶晶棒。在前一棒單晶棒拉制完成后，會將單晶棒提斷并伸入副室中，通過副室升降及旋轉，將單晶棒從副室內取出，并通過副室加料，繼續拉制下一根單晶棒。

在副室旋轉取棒過程時，在副室旋轉啟動時，由于存在慣性，副室內單晶棒會發生晃動，如晃動幅度過大時，會導致單晶棒和副室內壁發生碰撞，從而產生掉棒等重大異常事故。

因此，有必要提供一種穩定單晶硅棒的裝置，防止單晶棒和副室內壁發生磕碰，降低單硅棒掉棒等重大異常事故的發生。

實用新型內容

為了克服背景技術中存在的問題，本實用新型提供了一種穩定單晶硅棒的裝置，解決了取棒時晶棒不穩晃動碰到爐壁的現狀，使得單晶棒在副室旋轉時，副室內單晶棒不會發生晃動，提高了單晶棒的穩定性，防止了單晶棒和副室內壁發生磕碰，降低了單硅棒掉棒等重大異常事故的發生。

為實現上述目的，本實用新型是通過如下技術方案實現的：

本實用新型提供了一種穩定單晶硅棒的裝置，包括單晶棒防晃動支撐架、支撐軟氈1、單晶棒下落支撐裝置2；所述的單晶棒防晃動支撐架設置在單晶爐副室3下口處，支撐軟氈1環繞設置在單晶爐副室3下口內壁上，支撐軟氈1的厚度適應單晶棒4和單晶爐副室3下口內壁之間的距離，單晶棒下落支撐裝置2設置在單晶爐副室3下口下側，并通過單晶棒防晃動支撐架支撐安裝。

作為優選，所述的單晶棒防晃動支撐架包括外支撐架5、卡合支撐桿6、軟氈支撐環板7、環板支撐桿8，外支撐架5通過卡合支撐桿6環繞卡合安裝在單晶爐副室3下口外側，卡合支撐桿6卡接在單晶爐副室3下口的外壁上，單晶棒下落支撐裝置2安裝在外支撐架5的下側，環板支撐桿8連接在外支撐架5上且處于單晶爐副室3內側，軟氈支撐環板7通過環板支撐桿8環繞設置在單晶爐副室3下口內壁上，支撐軟氈1環繞設置于軟氈支撐環板7上。

本實用新型的有益效果：

本實用新型通過在單晶爐副室下口內部增加單晶棒防晃動裝置，解決了取棒時晶棒不穩晃動碰到爐壁的現狀，使得單晶棒在副室旋轉時，副室內單晶棒不會發生晃動，提高了單晶棒的穩定性，防止了單晶棒和副室內壁發生磕碰，降低了單晶棒掉棒等重大異常事故的發生。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中，1-支撐軟氈、2-單晶棒下落支撐裝置、3-單晶爐副室、4-單晶棒、5-外支撐架、6-卡合支撐桿、7-軟氈支撐環板、8-環板支撐桿。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案和有益效果更加清楚，下面將結合附圖，對本實用新型的優選實施例進行詳細的說明，以方便技術人員理解。