[實用新型]一種穩定單晶硅棒的裝置有效
| 申請號： | 202222801438.2 | 申請日： | 2022-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN218262817U | 公開（公告）日： | 2023-01-10 |
| 發明（設計）人： | 李鑫;許堃;李安君;朱厚軍;高貽剛 | 申請（專利權）人： | 宇澤半導體（云南）有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 云南恒于知行知識產權代理有限公司 53225 | 代理人： | 李寧 |
| 地址： | 675000 云南省楚雄彝族自治州楚*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 穩定 單晶硅 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種穩定單晶硅棒的裝置，其特征在于：所述的穩定單晶硅棒的裝置包括單晶棒防晃動支撐架、支撐軟氈（1）、單晶棒下落支撐裝置（2）；所述的單晶棒防晃動支撐架設置在單晶爐副室（3）下口處，支撐軟氈（1）環繞設置在單晶爐副室（3）下口內壁上，支撐軟氈（1）的厚度適應單晶棒（4）和單晶爐副室（3）下口內壁之間的距離，單晶棒下落支撐裝置（2）設置在單晶爐副室（3）下口下側，并通過單晶棒防晃動支撐架支撐安裝。
2.根據權利要求1所述的一種穩定單晶硅棒的裝置，其特征在于：所述的單晶棒防晃動支撐架包括外支撐架（5）、卡合支撐桿（6）、軟氈支撐環板（7）、環板支撐桿（8），外支撐架（5）通過卡合支撐桿（6）環繞卡合安裝在單晶爐副室（3）下口外側，卡合支撐桿（6）卡接在單晶爐副室（3）下口的外壁上，單晶棒下落支撐裝置（2）安裝在外支撐架（5）的下側，環板支撐桿（8）連接在外支撐架（5）上且處于單晶爐副室（3）內側，軟氈支撐環板（7）通過環板支撐桿（8）環繞設置在單晶爐副室（3）下口內壁上，支撐軟氈（1）環繞設置于軟氈支撐環板（7）上。
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