[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體塑封裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222780078.2
• 申請(qǐng)日: 2022-10-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218660494U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉明華;劉俊
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 成都尚明工業(yè)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B29C65/02
• 分類(lèi)號(hào): B29C65/02
• 代理公司: 成都欣圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51292
• 代理人: 瞿彬

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域。鑒于現(xiàn)有的半導(dǎo)體塑封裝置在封裝后存在大量氣泡的問(wèn)題，本實(shí)用新型公開(kāi)了一種半導(dǎo)體塑封裝置，該裝置包括下模具；上模具，可上下移動(dòng)安裝在下模具的上方；抽真空組件，和塑封空間的排氣管道連通，具有真空泵；密封件，一端部以密封排氣管道和塑封空間連通的端部；密封件的另一端部和排氣管道之間形成有間隙；且密封件的另一端部還設(shè)有磁鐵；電磁鐵，和密封件的另一端相對(duì)；電磁鐵和排氣管道形成有間隙；可伸縮桿，一端和密封件連接，另一端和電磁鐵連接；彈簧，套設(shè)在可伸縮桿上。該裝置可對(duì)塑封空間進(jìn)行抽真空，且抽真空后可自動(dòng)密封塑封空間，從而有效減少了塑封過(guò)程中的氣泡數(shù)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種塑封模具。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體的封裝是指將符合產(chǎn)品性能要求的半導(dǎo)體按照一定的分類(lèi)用塑料外殼進(jìn)行封裝保護(hù)，以達(dá)到保護(hù)半導(dǎo)體的芯片及焊線的目的。

傳統(tǒng)的半導(dǎo)體封裝過(guò)程只需對(duì)需要塑封的半導(dǎo)體包覆上封裝原料，然后在常壓下進(jìn)行加熱固化即可，這種塑封方法會(huì)導(dǎo)致封裝后的半導(dǎo)體中存有大量氣泡，影響產(chǎn)品性能。而隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，客戶對(duì)半導(dǎo)體的性能要求也越來(lái)越高，因此需要改進(jìn)塑封工藝，提高塑封質(zhì)量。

有鑒于此，設(shè)計(jì)出性能良好的半導(dǎo)體塑封裝置就顯得至關(guān)重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)有的半導(dǎo)體塑封裝置在塑封后，半導(dǎo)體中存在大量氣泡，影響產(chǎn)品性能的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的之一在于提供一種半導(dǎo)體塑封裝置，該塑封裝置可在塑封前進(jìn)行抽真空處理，從而有效減少了塑封過(guò)程中引入半導(dǎo)體內(nèi)的氣泡數(shù)量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用下列技術(shù)方案：

一種半導(dǎo)體塑封裝置，包括底座；下模具，安裝在所述底座上；上模具，可上下移動(dòng)安裝在所述下模具的上方；所述上模具和所述下模具可形成密封的塑封空間；抽真空組件，和所述塑封空間連通。

其中，所述下模具或所述上模具上設(shè)有和所述塑封空間連通的排氣管道。

所述抽真空組件具有：真空泵，和所述排氣管道連通；密封件，安裝在所述排氣管道中；所述密封件的一端部以密封所述排氣管道和所述塑封空間連通的端部；所述密封件的另一端部和所述排氣管道之間形成有間隙；且所述密封件的另一端部還設(shè)有磁鐵；電磁鐵，安裝在所述排氣管道中，和所述密封件的另一端相對(duì)；所述電磁鐵和所述排氣管道形成有間隙；可伸縮桿，一端和所述密封件連接，另一端和所述電磁鐵連接；彈簧，套設(shè)在所述可伸縮桿上。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述排氣管道具有：第一部分通道，一端和所述塑封空間連通；第二部分通道，一端和所述第一部分通道連通，另一端和所述真空泵連通；其中，所述第二部分通道的直徑大于所述第一部分通道的直徑。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述密封件具有第一本體，和所述第一部分通道的形狀和大于對(duì)應(yīng)，以密封所述第一部分通道；第二本體，和所述第一本體連接；其中，所述第二本體的直徑大于所述第一本體的直徑，并小于所述第二部分通道的直徑。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述第二本體和所述第一本體相連接的一側(cè)設(shè)有環(huán)形密封圈。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述下模具的上表面設(shè)有密封槽；其中，所述上模具的下表面設(shè)有和所述密封槽對(duì)應(yīng)的密封條。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述密封槽為燕尾槽。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述密封條由氟橡膠制成。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，所述電磁鐵和所述排氣管道之間設(shè)置有若干連接桿，以固定所述電磁鐵。

在本實(shí)用新型公開(kāi)的其中一個(gè)技術(shù)方案中，還包括液壓缸，所述液壓缸和所述上模具連接，以驅(qū)動(dòng)所述上模具上下移動(dòng)。