[實(shí)用新型]具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222776807.7
• 申請(qǐng)日: 2022-10-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218513422U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫川;陶佳清;王小卓;姚富榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州矽行半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/66
• 分類號(hào): H01L21/66;F21V9/40;F21V5/04;F21V7/00;F21V11/08
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 劉煜

1.一種具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述照明裝置包括：

光源(10)；

衰減組件(11)，其用于將所述光源(10)發(fā)出的光進(jìn)行能量衰減；

勻光組件(12)，其用于對(duì)所述衰減組件(11)過(guò)濾后的光束進(jìn)行勻光；

濾光組件(13)，其用于對(duì)勻光后的光束進(jìn)行過(guò)濾；

光斑調(diào)節(jié)組件，其用于將勻光過(guò)濾后的光束調(diào)節(jié)成預(yù)設(shè)光斑大小與預(yù)設(shè)光斑形狀，所述光源(10)、衰減組件(11)、勻光組件(12)、濾光組件(13)和光斑調(diào)節(jié)組件依次排列并同軸共線，光束經(jīng)過(guò)所述光源(10)、衰減組件(11)、勻光組件(12)、濾光組件(13)和光斑調(diào)節(jié)組件并形成第一光路(a)；

反射組件(16)，其位于所述第一光路(a)的末端，并用于將所述第一光路(a)中的光束進(jìn)行反射；

筒鏡組件(17)，其用于接收所述反射組件(16)反射的光束，所述反射組件(16)與所述筒鏡組件(17)形成第二光路(b)，所述第二光路(b)垂直于所述第一光路(a)，所述第二光路(b)的光束在所述筒鏡組件(17)的作用下射出并照射在晶圓表面。

2.如權(quán)利要求1所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述光斑調(diào)節(jié)組件包括光斑大小調(diào)節(jié)件(14)與光斑形狀調(diào)節(jié)件(15)，所述光斑大小調(diào)節(jié)件(14)與光斑形狀調(diào)節(jié)件(15)依次沿所述第一光路(a)排列。

3.如權(quán)利要求2所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述照明裝置還包括：

多個(gè)透鏡，多個(gè)所述透鏡位于所述光斑調(diào)節(jié)組件與濾光組件(13)之間，并位于所述第一光路(a)上。

4.如權(quán)利要求2所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述光斑形狀調(diào)節(jié)件(15)包括視場(chǎng)光闌。

5.如權(quán)利要求1所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述筒鏡組件(17)包括二向色鏡，所述反射組件(16)反射的光束經(jīng)過(guò)所述二向色鏡后分離，分離后的光束照射于所述晶圓表面并形成第三光路，所述第三光路垂直于所述第二光路(b)。

6.如權(quán)利要求5所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述照明裝置還包括：

物鏡(18)，所述物鏡(18)與所述筒鏡組件(17)連接，所述物鏡(18)位于所述筒鏡組件(17)的下方，所述物鏡(18)位于待檢測(cè)晶圓的上方，光束經(jīng)過(guò)所述二向色鏡后分離至所述物鏡(18)并照射在所述晶圓表面。

7.如權(quán)利要求1所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述照明裝置還包括：

冷卻組件，所述冷卻組件安裝于所述光源(10)上，并用于對(duì)所述光源(10)進(jìn)行冷卻。

8.如權(quán)利要求1所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述光源(10)為氙燈。

9.如權(quán)利要求1所述的具有高均勻性的用于半導(dǎo)體表面檢測(cè)的照明裝置，其特征在于，所述勻光組件(12)包括微透鏡陣列。