[實用新型]一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置

有效

• 申請號: 202222771083.7
• 申請日: 2022-10-21
• 公開（公告）號: CN218383660U
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 吳萍;羅詞雷
• 申請（專利權）人: 江西維易科半導體科技有限公司;江西維易爾半導體設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/30
• 代理公司: 南昌合達信知識產權代理事務所(普通合伙) 36142
• 代理人: 吳湊生

本實用新型涉及晶圓拿取技術領域，具體涉及一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置。本實用新型提供一種能多角度拿取晶圓的勻膠顯影機的晶圓拿取裝置。本實用新型提供了這樣一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，包括有基座、控制終端、電機和輔助拿取機構等；基座上設置有用于控制本裝置對晶圓進行精準拿取的控制終端，基座中心設置有用于為拿取晶圓提供動力支持的電機，基座還設有用于對晶圓的進行精準拿取的輔助拿取機構。通過旋轉臂、轉動臂和拿取塊的轉動配合，能對處在不同角度的晶圓進行拿取，通過氣缸帶動伸縮桿和與伸縮桿連接的零部件進行升降，實現對處在不同高度的晶圓進行有效拿取，從而便捷的對晶圓進行拿取。

技術領域

本實用新型涉及晶圓拿取技術領域，具體涉及一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置。

背景技術

勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備，包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等；勻膠顯影機一般由四部分組成，第一部分是晶圓盒工作站，晶圓盒在這里裝載到機器上；機械手從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分，即第二部分；工藝處理部分是勻膠顯影機的主體，增粘模塊、熱盤、冷盤、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓，第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等；第四部分是和光刻機聯機的接口界面，包括暫時儲存晶圓的緩沖盒、晶圓邊緣曝光和光刻機交換晶圓的接口等。

在對晶圓件進行拿取時，一般是通過機械手從晶圓盒中把晶圓件抽出來，再放置指定位置，但是目前機械手只能進行水平方向的抽取和傳遞晶圓，無法進行多角度拿取晶圓。

實用新型內容

本實用新型為了克服現有技術中機械手只能進行水平方向的抽取晶圓的缺點，本實用新型要解決的技術問題是提供一種能多角度拿取晶圓的勻膠顯影機的晶圓拿取裝置。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了這樣一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，包括有基座、控制終端、電機和輔助拿取機構，基座上設置有用于控制本裝置對晶圓進行精準拿取的控制終端，基座中心設置有用于為拿取晶圓提供動力支持的電機，基座還設有用于對晶圓的進行精準拿取的輔助拿取機構。

優選地，所述輔助拿取機構包括有固定塊、滾珠、旋轉塊、氣缸、旋轉臂、轉動臂和拿取塊，基座頂部以其中心點為圓心點安裝有固定塊，固定塊頂部沿其周向均勻間隔地連接有若干滾珠，固定塊通過滾珠轉動式連接有旋轉塊，電機輸出軸通過聯軸器轉動式地貫穿固定塊，并與旋轉塊固定連接，旋轉塊的頂部連接有氣缸，氣缸伸縮桿的兩側對稱地連接有旋轉臂，旋轉臂遠離氣缸伸縮桿的一端轉動式地連接有轉動臂，轉動臂上與旋轉臂和氣缸伸縮桿連接端的另一端轉動式連接有用于拿取晶圓的拿取塊。

優選地，還包括有照明燈，基座上安裝有用于為便捷操作控制終端提供而提供照明輔助的照明燈。

優選地，還包括有攝像頭，氣缸伸縮桿上連接有用于精準識別晶圓位置的攝像頭。

優選地，還包括有信號燈，拿取塊與拿取端相對的一側連接有用于指示拿取塊是否與晶圓在同一直線上的信號燈。

有選地，所述電機為伺服電機。

本實用新型具有的有益效果是：通過旋轉臂、轉動臂和拿取塊的轉動配合，能對處在不同角度的晶圓進行拿取，通過氣缸帶動伸縮桿和與伸縮桿連接的零部件進行升降，實現對處在不同高度的晶圓進行有效拿取，從而便捷的對晶圓進行拿??；通過電機與旋轉塊的配合，可實現周向轉動，實現轉動式拿取或搬運晶圓件的功能，由此實現可升降、多角度地拿取晶圓件。

附圖說明

圖1為本實用新型的立體結構示意圖。

圖2為本實用新型的基座、控制終端等部分零件立體結構示意圖。

圖3為本實用新型的電機、旋轉塊等部分零件立體結構示意圖。