[實用新型]一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置

有效

• 申請號: 202222771083.7
• 申請日: 2022-10-21
• 公開（公告）號: CN218383660U
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 吳萍;羅詞雷
• 申請（專利權）人: 江西維易科半導體科技有限公司;江西維易爾半導體設備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F7/30
• 代理公司: 南昌合達信知識產權代理事務所(普通合伙) 36142
• 代理人: 吳湊生

1.一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，包括有基座(1)、控制終端(2)和電機(3)，基座(1)上設置有用于控制本裝置對晶圓進行精準拿取的控制終端(2)，基座(1)中心設置有用于為拿取晶圓提供動力支持的電機(3)，其特征在于，還包括有輔助拿取機構(4)，基座(1)還設有用于對晶圓的進行精準拿取的輔助拿取機構(4)。

2.根據權利要求1所述的一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，其特征在于，所述輔助拿取機構(4)包括有固定塊(41)、滾珠(42)、旋轉塊(43)、氣缸(44)、旋轉臂(45)、轉動臂(46)和拿取塊(47)，基座(1)頂部以其中心點為圓心點安裝有固定塊(41)，固定塊(41)頂部沿其周向均勻間隔地連接有若干滾珠(42)，固定塊(41)通過滾珠(42)轉動式連接有旋轉塊(43)，電機(3)輸出軸通過聯軸器轉動式地貫穿固定塊(41)，并與旋轉塊(43)固定連接，旋轉塊(43)的頂部連接有氣缸(44)，氣缸(44)伸縮桿的兩側對稱地連接有旋轉臂(45)，旋轉臂(45)遠離氣缸(44)伸縮桿的一端轉動式地連接有轉動臂(46)，轉動臂(46)上與旋轉臂(45)和氣缸(44)伸縮桿連接端的另一端轉動式連接有用于拿取晶圓的拿取塊(47)。

3.根據權利要求2所述的一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，其特征在于，還包括有照明燈(5)，基座(1)上安裝有用于為便捷操作控制終端(2)提供而提供照明輔助的照明燈(5)。

4.根據權利要求3所述的一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，其特征在于，還包括有攝像頭(6)，氣缸(44)伸縮桿上連接有用于精準識別晶圓位置的攝像頭(6)。

5.根據權利要求4所述的一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，其特征在于，還包括有信號燈(7)，拿取塊(47)與拿取端相對的一側連接有用于指示拿取塊(47)是否與晶圓在同一直線上的信號燈(7)。

6.根據權利要求5所述的一種勻膠顯影機的晶圓拿取裝置，其特征在于，所述電機(3)為伺服電機。