[實用新型]一種單晶硅片烘干裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222769626.1
• 申請日: 2022-10-20
• 公開（公告）號: CN218155333U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發(fā)明（設計）人: 光善如
• 申請（專利權）人: 安徽晶瑞新材料有限公司
• 主分類號: F26B15/12
• 分類號: F26B15/12;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/02;F25D1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種單晶硅片烘干裝置，涉及單晶硅片技術領域。本實用新型包括工作臺，工作臺頂部的一端設置有烘干箱，烘干箱的內(nèi)部設置有加熱絲。本實用新型通過第一移動機構以及第二移動機構的設置，使得兩個矩形移動臺能夠分別進入烘干箱的內(nèi)部進行烘干，進而使得其中一個矩形移動臺能夠在烘干時，另一個矩形移動臺能夠進行上料或下料，并通過吹風機組件的設置進行降溫處理，進行提高工作效率，本實用新型通過批量夾持機構的設置，使得單晶硅片能夠得到批量的夾持，對單晶硅片夾持有利于烘干以及冷卻時單晶硅片的穩(wěn)定性，通過液壓缸的運作使得批量的單晶硅片能夠快速的上下料，進一步提高工作效率。

技術領域

本實用新型屬于單晶硅片技術領域，特別是涉及一種單晶硅片烘干裝置。

背景技術

單晶硅片：硅的單晶體，是一種具有基本完整的點陣結構的晶體。不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料。純度要求達到99.9999％，甚至達到99.9999999％以上。用于制造半導體器件、太陽能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成；

在現(xiàn)有的大部分裝置中：

1、把單晶硅片多層的摞放在烘干箱體內(nèi)部進行烘干，頂部的一部分單晶硅片首先被烘干，導致烘干效率下降，底部位置處的單晶硅片不能夠很好的烘干；

2、不便于烘干前對單晶硅片的放置以及烘干后對單晶硅片的取出，以及單晶硅片烘干后的溫度較高，很容易對操作人員造成燙傷；

因此，針對此缺點進行改進的裝置使得單晶硅片能夠得到批量的烘干，以及更加便捷的上料與下料；

為此，設計了一種單晶硅片烘干裝置，用于對上述問題提供另一種解決方案。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種單晶硅片烘干裝置，以解決現(xiàn)有的問題：把單晶硅片多層的摞放在烘干箱體內(nèi)部進行烘干，頂部的一部分單晶硅片首先被烘干，導致烘干效率下降，底部位置處的單晶硅片不能夠很好的烘干。

為解決上述技術問題，本實用新型是通過以下技術方案實現(xiàn)的：一種單晶硅片烘干裝置，包括工作臺，所述工作臺頂部的一端設置有烘干箱，所述烘干箱的內(nèi)部設置有加熱絲，用于單晶硅片的加熱；

所述工作臺的中部位置處固定有U型板，所述U型板內(nèi)部的頂端以及底端均設置有吹風機組件；

所述工作臺頂部的兩端均設置有矩形移動臺，所述矩形移動臺的頂部設置有用于多個單晶硅片批量夾持的批量夾持機構；

所述工作臺內(nèi)部的兩側分別設置有用于兩個矩形移動臺單獨移動的第一移動機構以及第二移動機構。

進一步地，所述批量夾持機構包括兩個豎向柱，所述矩形移動臺頂部的兩端均設置有豎向柱，所述豎向柱的兩端均固定有液壓缸，所述液壓缸的輸出端固定有矩形移動板，所述矩形移動板的靠近豎向柱的一端固定有多個圓形柱；

所述圓形柱的內(nèi)部滑動連接有圓形滑桿，所述圓形滑桿的遠離矩形移動板的一端固定有夾塊，所述圓形柱的內(nèi)部且位于圓形滑桿以及矩形移動板之間設置有彈簧。

進一步地，所述圓形滑桿靠近矩形移動板的一端且位于圓形柱的內(nèi)部固定有圓形滑塊，所述圓形柱的內(nèi)部開設有與圓形滑塊適配的圓形滑槽，所述圓形柱與圓形滑塊之間通過圓形滑槽的開設滑動連接。

進一步地，所述第一移動機構包括豎向矩形板，所述工作臺底部的一側固定有豎向矩形板，所述豎向矩形板一側的兩端均固定有第一矩形固定板，其中一個所述第一矩形固定板的一端螺栓固定有第一驅動電機，所述第一驅動電機的輸出端固定有第一螺紋桿，所述第一螺紋桿的外側螺紋連接有矩形滑動塊，所述矩形滑動塊的內(nèi)部滑動連接有豎向滑板，所述豎向滑板的頂部固定與其中一個所述矩形移動臺固定連接。

進一步地，所述豎向矩形板的內(nèi)部開設有V型槽，所述V型槽的內(nèi)部活動連接有定位輪，所述豎向滑板的底部與定位輪通過軸承轉動連接。