[實用新型]一種單晶硅片烘干裝置

有效

• 申請號: 202222769626.1
• 申請日: 2022-10-20
• 公開（公告）號: CN218155333U
• 公開（公告）日: 2022-12-27
• 發明（設計）人: 光善如
• 申請（專利權）人: 安徽晶瑞新材料有限公司
• 主分類號: F26B15/12
• 分類號: F26B15/12;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/02;F25D1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種單晶硅片烘干裝置，包括工作臺(1)，其特征在于，所述工作臺(1)頂部的一端設置有烘干箱(2)，所述烘干箱(2)的內部設置有加熱絲(3)，用于單晶硅片的加熱；

所述工作臺(1)的中部位置處固定有U型板(4)，所述U型板(4)內部的頂端以及底端均設置有吹風機組件(5)；

所述工作臺(1)頂部的兩端均設置有矩形移動臺(16)，所述矩形移動臺(16)的頂部設置有用于多個單晶硅片批量夾持的批量夾持機構；

所述工作臺(1)內部的兩側分別設置有用于兩個矩形移動臺(16)單獨移動的第一移動機構以及第二移動機構。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述批量夾持機構包括兩個豎向柱(21)，所述矩形移動臺(16)頂部的兩端均設置有豎向柱(21)，所述豎向柱(21)的兩端均固定有液壓缸(20)，所述液壓缸(20)的輸出端固定有矩形移動板(6)，所述矩形移動板(6)的靠近豎向柱(21)的一端固定有多個圓形柱(17)；

所述圓形柱(17)的內部滑動連接有圓形滑桿(18)，所述圓形滑桿(18)的遠離矩形移動板(6)的一端固定有夾塊(19)，所述圓形柱(17)的內部且位于圓形滑桿(18)以及矩形移動板(6)之間設置有彈簧(22)。

3.根據權利要求2所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述圓形滑桿(18)靠近矩形移動板(6)的一端且位于圓形柱(17)的內部固定有圓形滑塊，所述圓形柱(17)的內部開設有與圓形滑塊適配的圓形滑槽，所述圓形柱(17)與圓形滑塊之間通過圓形滑槽的開設滑動連接。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述第一移動機構包括豎向矩形板(8)，所述工作臺(1)底部的一側固定有豎向矩形板(8)，所述豎向矩形板(8)一側的兩端均固定有第一矩形固定板(23)，其中一個所述第一矩形固定板(23)的一端螺栓固定有第一驅動電機(7)，所述第一驅動電機(7)的輸出端固定有第一螺紋桿(9)，所述第一螺紋桿(9)的外側螺紋連接有矩形滑動塊(11)，所述矩形滑動塊(11)的內部滑動連接有豎向滑板(12)，所述豎向滑板(12)的頂部固定與其中一個所述矩形移動臺(16)固定連接。

5.根據權利要求4所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述豎向矩形板(8)的內部開設有V型槽，所述V型槽的內部活動連接有定位輪(10)，所述豎向滑板(12)的底部與定位輪(10)通過軸承轉動連接。

6.根據權利要求4所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述矩形滑動塊(11)的內部開設有矩形滑槽，所述矩形滑動塊(11)與豎向矩形板(8)之間通過矩形滑槽滑動連接。

7.根據權利要求4所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述第二移動機構包括兩個第二矩形固定板(24)，所述工作臺(1)底部的兩端均固定有第二矩形固定板(24)，其中一個所述第二矩形固定板(24)的一端螺栓固定有第二驅動電機(13)，所述第二驅動電機(13)的輸出端固定有第二螺紋桿(15)，所述第二螺紋桿(15)的外側螺紋連接有L型移動塊(14)，所述L型移動塊(14)的頂部與其中另一個所述矩形移動臺(16)固定連接。

8.根據權利要求7所述的一種單晶硅片烘干裝置，其特征在于，所述第二驅動電機(13)的輸出端貫穿其中一個所述第二矩形固定板(24)的內部且與第二矩形固定板(24)通過軸承轉動連接；

所述第二螺紋桿(15)一端與其中另一個所述第二矩形固定板(24)之間通過軸承轉動連接。