[實用新型]一種涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊及卡盤工作臺有效
| 申請號： | 202222761367.8 | 申請日： | 2022-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN218440614U | 公開（公告）日： | 2023-02-03 |
| 發明（設計）人： | 陳付磊 | 申請（專利權）人： | 徐州金沙江半導體有限公司 |
| 主分類號： | F16J15/10 | 分類號： | F16J15/10;F16B47/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 徐州創榮知識產權代理事務所(普通合伙) 32353 | 代理人： | 畢金鵬 |
| 地址： | 221000 江蘇省徐*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 涂膠 顯影 卡盤 工作臺 專用 密封墊 | ||
1.一種涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于：包括環形的墊本體（1），所述墊本體（1）的外緣向上外擴延伸有閉環的圍擋（2），圍擋（2）的斷面為圓弧面，圍擋（2）各處高度一致，圍擋（2）厚度不大于墊本體（1）的厚度。
2.根據權利要求1所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述圍擋（2）采用橡膠材質。
3.根據權利要求2所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述墊本體（1）采用橡膠材質。
4.根據權利要求3所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述墊本體（1）表面均布有數個裝配通孔（11）。
5.根據權利要求1所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述墊本體（1）的厚度為1～2mm。
6.根據權利要求1所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述圍擋（2）的高度為5～10mm。
7.根據權利要求1所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述圍擋（2）的上端面（21）為斜面。
8.根據權利要求1所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，其特征在于，所述圍擋（2）的外表面均布有網格狀的加強筋。
9.一種卡盤工作臺，其特征在于，包括真空吸盤，所述真空吸盤包括設有氣流通道的基座（3），基座（3）上放置權利要求1-8中任意一項所述的涂膠顯影機卡盤工作臺專用的密封墊，墊本體（1）上可拆卸連接有晶圓承載單元（4），晶圓承載單元（4）的外輪廓投影于圍擋內部區域的墊本體（1）上表面。
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