[實(shí)用新型]一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202222759355.1 | 申請(qǐng)日: | 2022-10-20 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN218631968U | 公開(kāi)(公告)日: | 2023-03-14 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 彭云祥 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 宜春宇澤新能源有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/677 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司: | 徐州新知科服知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32634 | 代理人: | 陳榮立 |
| 地址: | 336000 江西省宜*** | 國(guó)省代碼: | 江西;36 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 提升 硅片 良品率 插片機(jī) 機(jī)頭 | ||
1.一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,包括:
一對(duì)用于對(duì)水里的硅片進(jìn)行吹散的散料板(7),一對(duì)所述散料板(7)之間設(shè)置有連接板(6),所述連接板(6)頂部設(shè)置有吸水板(9),所述吸水板(9)底部設(shè)置有安裝座(13),所述安裝座(13)底部設(shè)置有用于對(duì)水里的硅片進(jìn)行導(dǎo)向的導(dǎo)向組件;
其特征在于,
所述導(dǎo)向組件包括對(duì)稱(chēng)設(shè)置在安裝座(13)側(cè)壁的轉(zhuǎn)動(dòng)柱(111),所述轉(zhuǎn)動(dòng)柱(111)側(cè)壁設(shè)置有第三皮帶輪(11),所述吸水板(9)內(nèi)部設(shè)置有貫穿所述吸水板(9)的轉(zhuǎn)軸(5),所述轉(zhuǎn)軸(5)側(cè)壁對(duì)稱(chēng)設(shè)置有置于所述安裝座(13)兩側(cè)的第二皮帶輪(8),所述第二皮帶輪(8)和第三皮帶輪(11)之間設(shè)置有輸送帶,所述吸水板(9)底部連接有延伸板(10),所述延伸板(10)底部開(kāi)設(shè)有一對(duì)貫穿安裝座(13)且與所述吸水板(9)相連通的吸水孔,所述安裝座(13)側(cè)壁對(duì)稱(chēng)設(shè)置有置于所述安裝座(13)兩側(cè)且用于對(duì)所述吸水孔吸取的硅片進(jìn)行輸送的導(dǎo)向輪(12),所述吸水板(9)頂部設(shè)置有與所述吸水孔相連通的連接頭(14),所述連接頭(14)通過(guò)導(dǎo)管設(shè)置有吸水泵,所述吸水板(9)上設(shè)置有用于帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸(5)轉(zhuǎn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在吸水板(9)上的連接柱(101),所述連接柱(101)兩端對(duì)稱(chēng)設(shè)置有立板(1),其中一個(gè)所述立板(1)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(2),所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(2)的輸出軸和所述轉(zhuǎn)軸(5)上均設(shè)置有第一皮帶輪(4),兩個(gè)所述第一皮帶輪(4)之間設(shè)置有皮帶(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,其特征在于,兩個(gè)所述第一皮帶輪(4)在同一豎直面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,其特征在于,所述導(dǎo)向輪(12)和所述第三皮帶輪(11)下端面在同一水平面上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,其特征在于,所述散料板(7)側(cè)壁設(shè)置有用于對(duì)水里硅片進(jìn)行吹散的噴水管(71)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升硅片良品率的插片機(jī)機(jī)頭,其特征在于,所述導(dǎo)向輪(12)與所述安裝座(13)之間設(shè)置有導(dǎo)柱,所述導(dǎo)柱與所述安裝座(13)連接處設(shè)置有軸承。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于宜春宇澤新能源有限公司,未經(jīng)宜春宇澤新能源有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202222759355.1/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 同類(lèi)專(zhuān)利
- 專(zhuān)利分類(lèi)
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





