[實(shí)用新型]晶圓取放治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222749357.2
• 申請日: 2022-10-19
• 公開（公告）號: CN218618729U
• 公開（公告）日: 2023-03-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 俞磊;呂泓霄;秦峰
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州廣年科技有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;B65G47/24;H01L21/677
• 代理公司: 北京鑫知翼知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11984
• 代理人: 張?jiān)浦?/td>

1.一種晶圓取放治具，其特征在于：包括治具主體，治具主體上均勻設(shè)置有若干與裝載箱內(nèi)的若干棧存臺對應(yīng)設(shè)置的轉(zhuǎn)運(yùn)臺，治具主體包括對應(yīng)裝載箱的插入部，插入部端的轉(zhuǎn)運(yùn)臺端部設(shè)置有晶圓提升斜坡；

晶圓提升斜坡低于晶圓，治具主體載入，插入部形成緩慢將晶圓提升的提升部，配合轉(zhuǎn)運(yùn)臺形成的導(dǎo)出部導(dǎo)出，形成高效晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：治具主體對應(yīng)設(shè)置于平臺部的轉(zhuǎn)運(yùn)導(dǎo)入?yún)^(qū)內(nèi)，轉(zhuǎn)運(yùn)導(dǎo)入?yún)^(qū)內(nèi)設(shè)置有由鐵氟龍材質(zhì)構(gòu)成的載入導(dǎo)軌；治具主體包括與載入導(dǎo)軌配合使用的由鐵芙蓉材質(zhì)構(gòu)成的導(dǎo)入對應(yīng)塊，由鐵氟龍材質(zhì)構(gòu)成的載入導(dǎo)軌和導(dǎo)入對應(yīng)塊組合形成防止導(dǎo)入產(chǎn)生細(xì)屑產(chǎn)生靜電，的無屑式防靜電導(dǎo)入結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：取放角度提供臺角度為5-10°。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：晶圓提升斜坡角度為2-5°。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：轉(zhuǎn)運(yùn)臺由鐵氟龍材質(zhì)構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：轉(zhuǎn)運(yùn)臺另一端也設(shè)置有晶圓提升斜坡，形成對應(yīng)晶圓放入時的提升導(dǎo)向結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：轉(zhuǎn)運(yùn)臺下端設(shè)置有防止晶圓碰傷的斜向坡結(jié)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓取放治具，其特征在于：斜向坡結(jié)構(gòu)角度為8-12°。