[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202222743817.0
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN218726804U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊炎;康冀愷;黃誠;蔣仙;李華
• 申請（專利權(quán)）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251;G01N23/2204
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11435
• 代理人: 郭棟梁

本申請公開了一種掃描電鏡樣品臺，包括基座，基座上沿一方向滑動設(shè)置有第一樣品載臺和第二樣品載臺，第一樣品載臺與所述第二樣品載臺相向的側(cè)面之間形成有樣品夾持空間；緊固單元，分別與第一樣品載臺和第二樣品載臺連接。上述方案，由于在第一樣品載臺與第二樣品載臺相向的側(cè)面之間形成有樣品夾持空間，可以將不同形狀、不同大小的樣品夾在該樣品夾持空間，以將樣品固定在該掃描電鏡樣品臺上，而無需采用導(dǎo)電膠對樣品進行粘接固定，因此，克服了因采用導(dǎo)電膠粘接固定樣品，而導(dǎo)致的不利于對樣品進行高精度、高倍率拍攝的問題發(fā)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型一般涉及電子顯微鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掃描電鏡樣品臺。

背景技術(shù)

掃描電鏡是利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過高能電子束與物質(zhì)間的相互作用，來激發(fā)各種物理信息，并對這些物理信息進行收集、放大、再成像以達到對物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

一般地，掃描電鏡出廠時原裝的樣品臺為圓柱形樣品臺，在對樣品進行掃描電鏡分析時，將樣品放置在圓柱形樣品臺的頂面或通過導(dǎo)電膠將樣品粘貼在圓柱形樣品臺的側(cè)面，然而，由于導(dǎo)電膠的導(dǎo)電能力有限，導(dǎo)致樣品與樣品臺之間接觸電阻較大，對掃描電鏡發(fā)出的高能電子束能量衰減較大，而掃描電鏡的拍攝精度與倍率與采集到的高能電子束能量正相關(guān)，因此，采用導(dǎo)電膠來對樣品進行粘貼固定，不利于對樣品進行高精度、高倍率的拍攝。此外，由于導(dǎo)電膠具有一定的厚度，且存在不平的情況，在導(dǎo)電膠不平時，會造成樣品粘接后平整度較差，導(dǎo)致樣品的形態(tài)精度降低，相應(yīng)地，獲得的樣品的圖像精度亦會降低。

實用新型內(nèi)容

本申請?zhí)峁┮环N掃描電鏡樣品臺，至少用于樣品高精度、高倍率的拍攝。

本實用新型提供一種掃描電鏡樣品臺，包括：基座，所述基座上沿一方向滑動設(shè)置有第一樣品載臺和第二樣品載臺，所述第一樣品載臺與所述第二樣品載臺相向的側(cè)面之間形成有樣品夾持空間；緊固單元，分別與所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺連接，用于至少將所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺固定連接在一起。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺均具有多個樣品承載面，且所述第一樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角，與所述第二樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同；和/或，所述第二樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺至少任一與所述基座可拆卸連接。

作為可實現(xiàn)方式，所述緊固單元包括螺栓、止旋墊片以及止旋插接件；所述第一樣品載臺設(shè)置有螺紋孔，所述第二樣品載臺設(shè)置有第一通孔，所述止旋墊片設(shè)置有第二通孔，所述螺栓順次穿過所述第二通孔和所述第一通孔，并與所述螺紋孔螺接；所述止旋插接件分別與所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺止旋插接配合；所述止旋墊片與所述止旋插接件止旋配合。

作為可實現(xiàn)方式，所述基座上設(shè)置有第一滑動引導(dǎo)部，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺上均設(shè)置有第二滑動引導(dǎo)部，所述第一滑動引導(dǎo)部與所述第二滑動引導(dǎo)部滑動配合。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一滑動引導(dǎo)部和所述第二滑動引導(dǎo)部二者中，其一為第一凹槽，另一為第一導(dǎo)軌。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一凹槽為燕尾槽、梯形槽、T形槽和L形槽中的任一種；所述第一導(dǎo)軌為與所述第一凹槽對應(yīng)的燕尾導(dǎo)軌、梯形導(dǎo)軌、T形導(dǎo)軌或L形導(dǎo)軌。

作為可實現(xiàn)方式，所述止旋插接件上設(shè)置有第一插配合引導(dǎo)部，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺上均設(shè)置有第二插配合引導(dǎo)部，所述第一插配合引導(dǎo)部與所述第二插配合引導(dǎo)部止旋插接配合。

作為可實現(xiàn)方式，所述第一插配合引導(dǎo)部和所述第二插配合引導(dǎo)部二者中，其一為第二凹槽，另一為第二導(dǎo)軌。