[實用新型]掃描電鏡樣品臺

有效

• 申請號: 202222743817.0
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN218726804U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 楊炎;康冀愷;黃誠;蔣仙;李華
• 申請（專利權）人: 泰州隆基樂葉光伏科技有限公司
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251;G01N23/2204
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理有限公司 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種掃描電鏡樣品臺，其特征在于，包括：

基座，所述基座上沿一方向滑動設置有第一樣品載臺和第二樣品載臺，所述第一樣品載臺與所述第二樣品載臺相向的側面之間形成有樣品夾持空間；

緊固單元，分別與所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺連接，用于至少將所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺固定連接在一起。

2.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺均具有多個樣品承載面，且所述第一樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角，與所述第二樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同。

3.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同；和/或，

所述第二樣品載臺的至少部分樣品承載面與水平面之間的夾角不同。

4.根據權利要求1所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺至少任一與所述基座可拆卸連接。

5.根據權利要求1－4任一項所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述緊固單元包括螺栓、止旋墊片以及止旋插接件；

所述第一樣品載臺設置有螺紋孔，所述第二樣品載臺設置有第一通孔，所述止旋墊片設置有第二通孔，所述螺栓順次穿過所述第二通孔和所述第一通孔，并與所述螺紋孔螺接；

所述止旋插接件分別與所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺止旋插接配合；

所述止旋墊片與所述止旋插接件止旋配合。

6.根據權利要求1－4任一項所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述基座上設置有第一滑動引導部，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺上均設置有第二滑動引導部，所述第一滑動引導部與所述第二滑動引導部滑動配合。

7.根據權利要求6所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一滑動引導部和所述第二滑動引導部二者中，其一為第一凹槽，另一為第一導軌。

8.根據權利要求4所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述止旋插接件上設置有第一插配合引導部，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺上均設置有第二插配合引導部，所述第一插配合引導部與所述第二插配合引導部止旋插接配合。

9.根據權利要求8所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一插配合引導部和所述第二插配合引導部二者中，其一為第二凹槽，另一為第二導軌。

10.根據權利要求9所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述第一樣品載臺和所述第二樣品載臺的頂部設置所述第二凹槽，所述止旋插接件包括所述第二導軌，所述第二導軌的一端設置有定位部，所述定位部與所述緊固單元的止旋墊片止旋配合，且所述定位部與所述第二樣品載臺背離所述第一樣品載臺的側面止推配合。

11.根據權利要求10所述的掃描電鏡樣品臺，其特征在于，所述定位部包括平行設置的頂面和底面，所述頂面和所述底面均為第一平面；

所述止旋墊片的側面包括第二平面，所述第二平面與作為所述底面的所述第一平面貼合，以將所述定位部與所述止旋墊片止旋配合。