[實用新型]一種用于晶圓存取的倒片機

有效

• 申請號: 202222743758.7
• 申請日: 2022-10-18
• 公開（公告）號: CN218730841U
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 馮慶雄;王志峰;楊大鵬;薛聯金
• 申請（專利權）人: 廈門普誠科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 廈門仕誠聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 35227
• 代理人: 陳蓓蓓

1.一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：包括用于安裝的機架(51)，所述機架(51)上表面設置有若干個取片機構(52)，相鄰的另一個取片機構(52)的側面設置有第一讀碼檢測機構(55)，所述取片機構(52)一側設置治具(53)，所述治具(53)上設置有若干個與取片機構(52)數量相同的卡塞(54)，所述治具(53)與取片機構(52)之間也設置有第二讀碼檢測機構(56)。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述取片機構(52)包括安裝在機架(51)上的第一直線模組(521)，所述第一直線模組(521)動力輸出端設置第二直線模組(522)，所述第二直線模組(522)動力輸出端安裝有固定架(524)，所述固定架(524)上設置有吸盤(523)。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述第一讀碼檢測機構(55)包括位于取片機構(52)一側的第一安裝板(551)，所述第一安裝板(551)靠近取片機構(52)的側面上安裝有第一氣缸(552)，所述第一氣缸(552)的動力輸出端的安裝架上設置有第一讀碼檢測相機(553)，所述第一讀碼檢測相機(553)的拍攝方向設置有第一光源(554)，且第一光源(554)安裝在第一安裝板(551)上。

4.根據權利要求3所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述第一氣缸(552)動力輸出端設置有第一限位塊(556)，所述第一限位塊(556)跟隨第一讀碼檢測相機(553)一起運動，所述第一安裝板(551)的側面還設置有第一限位器(555)，所述第一限位器(555)與第一限位塊(556)位于同一直線上；當第一限位塊(556)移動至第一限位器(555)位置后不再移動。

5.根據權利要求1所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述第二讀碼檢測機構(56)包括位于治具(53)與取片機構(52)之間的第二安裝板(561)，所述第二安裝板(561)側面固定安裝有第二氣缸(562)，所述第二氣缸(562)動力輸出端的安裝架上安裝有第二讀碼檢測相機(563)，所述第二安裝板(561)側面設置有第二光源(564)，所述第二光源(564)位于第二讀碼檢測相機(563)的拍攝方向。

6.根據權利要求5所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述第二氣缸(562)動力輸出端上還設置有第二限位塊(566)，所述第二安裝板(561)側面還設置有第二限位器(565)，所述第二限位器(565)與第二限位塊(566)位于同一直線上，當第二限位塊(566)移動至第二限位器(565)位置后不再移動。

7.根據權利要求1所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述治具(53)包括設置在機架(51)上的治具本體(531)，所述治具本體(531)上開設有多個用于卡塞(54)放置的放置槽(532)。

8.根據權利要求2所述的一種用于晶圓存取的倒片機，其特征在于：所述第一直線模組(521)和第二直線模組(522)的直線驅動方式采用同步帶直線驅動模組、滾珠絲桿直線驅動模組中的一種或者多種組合。