[實用新型]一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 202222719918.4
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN218175207U
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 崔海;謝莉華;卜俊恩;譚思佳;謝姍
• 申請（專利權）人: 安徽研泠科技有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B25/14;C30B25/02;B60B33/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型屬于單晶碳化硅薄膜制備技術領域，尤其為一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，包括底座，所述底座的頂部固定連接有支撐臺和真空泵，所述支撐臺的頂部固定連接有隔熱墊，所述隔熱墊的頂部固定連接有殼體，所述殼體的頂部內壁上和底部內壁上均固定連接有加熱板。本實用新型通過驅動電機、上鏈輪、下鏈輪、傳動鏈、驅動齒輪、轉動桿、豎向齒板、移動板、腳輪和空心支架的聯動下，驅動了腳輪的升降，便于裝置移動與固定之間的快速切換，使得對裝置的固定較為便捷快速，通過真空泵和連接管的設置，可對殼體進行抽真空，避免其他氣體對化學氣相沉積的反應造成影響，進而提高制備碳化硅薄膜的質量。

技術領域

本實用新型涉及單晶碳化硅薄膜制備技術領域，尤其涉及一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置。

背景技術

隨著科技的不斷發展，市場上對于半導體材料的需求也在不斷增加，其中，碳化硅外延片(碳化硅薄膜)以其大禁帶寬度、高臨界場強和高熱導率等優良特性，在PFC電源、太陽能光伏、馬達控制、混合和純電動汽車、鐵路運輸、智能電網、航天航空以及節能家電等諸多領域得到了廣泛應用；

經檢索：授權公布號為CN109402604A的一種用于生產碳化硅外延片的化學氣相沉積裝置，本設計通過閥門可以靈活控制真空管、第二氣體管和第一氣體管的開閉狀態，進而可以根據實際的化學氣相沉積條件進行實時調整，提高了操作的靈活性，解決了傳統的用于生產碳化硅外延片的化學氣相沉積裝置由于通氣管道比較單一而降低了操作靈活性的問題，有利于提高制備的碳化硅外延片產品的質量。

然而上述中的制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置還存在有不足之處，通過多個腳輪以便裝置進行移動，但當裝置工作時，需要人員一個一個的對腳輪進行固定，才能保證裝置的工作時的穩定性，導致對裝置的固定較為繁瑣麻煩，使用效果欠佳，因此我們提出了一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置用于解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決上述中的缺點，而提出的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，包括底座，所述底座的頂部固定連接有支撐臺和真空泵，所述支撐臺的頂部固定連接有隔熱墊，所述隔熱墊的頂部固定連接有殼體，所述殼體的頂部內壁上和底部內壁上均固定連接有加熱板，所述殼體的兩側均固定連接有通氣管，所述通氣管的一端固定連接有豎管，所述豎管的一側固定連通有兩個氣體管，所述真空泵與左側的豎管之間固定連通有同一個連接管，所述連接管和氣體管內均設置有電磁閥，所述底座的底部固定連接有四個空心支架，所述底座的頂部內壁上固定連接有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸上固定連接有上鏈輪，所述底座的前后側內壁上轉動連接有兩個轉動桿，兩個轉動桿的外側均固定套設有一個下鏈輪和兩個驅動齒輪，所述上鏈輪和兩個下鏈輪上傳動連接有同一個傳動鏈，所述底座內滑動設置有四個豎向齒板，四個驅動齒輪分別與對應的豎向齒板相嚙合，所述豎向齒板的底端固定連接有移動板，所述移動板的底部轉動連接有腳輪。

優選的，所述空心支架的兩側均開設有導向槽，所述導向槽內滑動套設有導向板，兩個導向板分別固定連接在移動板的兩側。

優選的，所述底座的頂部內壁上固定連接有四個豎桿，四個豎桿的外側均滑動套設有滑套，四個滑套分別固定連接在對應的豎向齒板的一側。

優選的，所述殼體的前側轉動連接有密封門，所述密封門的前側固定連接有把手。

優選的，所述支撐臺的底部固定連接有四個豎板，四個豎板均固定連接在底座的頂部。

優選的，所述移動板的底部固定連接有安裝架，四個腳輪分別轉動設置在對應的安裝架內。