[實用新型]一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 202222719918.4
• 申請日: 2022-10-17
• 公開（公告）號: CN218175207U
• 公開（公告）日: 2022-12-30
• 發明（設計）人: 崔海;謝莉華;卜俊恩;譚思佳;謝姍
• 申請（專利權）人: 安徽研泠科技有限公司
• 主分類號: C30B29/36
• 分類號: C30B29/36;C30B25/14;C30B25/02;B60B33/06
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1.一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的頂部固定連接有支撐臺(3)和真空泵(11)，所述支撐臺(3)的頂部固定連接有隔熱墊(4)，所述隔熱墊(4)的頂部固定連接有殼體(5)，所述殼體(5)的頂部內壁上和底部內壁上均固定連接有加熱板(10)，所述殼體(5)的兩側均固定連接有通氣管(8)，所述通氣管(8)的一端固定連接有豎管(9)，所述豎管(9)的一側固定連通有兩個氣體管(7)，所述真空泵(11)與左側的豎管(9)之間固定連通有同一個連接管(12)，所述連接管(12)和氣體管(7)內均設置有電磁閥，所述底座(1)的底部固定連接有四個空心支架(2)，所述底座(1)的頂部內壁上固定連接有驅動電機(15)，所述驅動電機(15)的輸出軸上固定連接有上鏈輪(16)，所述底座(1)的前后側內壁上轉動連接有兩個轉動桿(18)，兩個轉動桿(18)的外側均固定套設有一個下鏈輪(19)和兩個驅動齒輪(20)，所述上鏈輪(16)和兩個下鏈輪(19)上傳動連接有同一個傳動鏈(17)，所述底座(1)內滑動設置有四個豎向齒板(14)，四個驅動齒輪(20)分別與對應的豎向齒板(14)相嚙合，所述豎向齒板(14)的底端固定連接有移動板(21)，所述移動板(21)的底部轉動連接有腳輪(22)。

2.根據權利要求1所述的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述空心支架(2)的兩側均開設有導向槽，所述導向槽內滑動套設有導向板(23)，兩個導向板(23)分別固定連接在移動板(21)的兩側。

3.根據權利要求1所述的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述底座(1)的頂部內壁上固定連接有四個豎桿(13)，四個豎桿(13)的外側均滑動套設有滑套(24)，四個滑套(24)分別固定連接在對應的豎向齒板(14)的一側。

4.根據權利要求1所述的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述殼體(5)的前側轉動連接有密封門(6)，所述密封門(6)的前側固定連接有把手。

5.根據權利要求1所述的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述支撐臺(3)的底部固定連接有四個豎板，四個豎板均固定連接在底座(1)的頂部。

6.根據權利要求1所述的一種制備單晶碳化硅薄膜的化學氣相沉積裝置，其特征在于，所述移動板(21)的底部固定連接有安裝架，四個腳輪(22)分別轉動設置在對應的安裝架內。