[實(shí)用新型]晶圓承載裝置和晶圓清洗設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222717266.0
• 申請(qǐng)日: 2022-10-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219025313U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-05-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇雙圖;張潔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 強(qiáng)珍妮

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓承載裝置和晶圓清洗設(shè)備，涉及晶圓處理技術(shù)領(lǐng)域。一種晶圓承載裝置包括：支架；支撐柱組件，支撐柱組件安裝于支架上；其中，支撐柱組件包括彼此平行設(shè)置的兩根底部支撐柱，兩根底部支撐柱位于過(guò)晶圓的重心且沿重力方向設(shè)置的豎直參考線的兩側(cè)；支撐柱組件進(jìn)一步包括與底部支撐柱平行設(shè)置的至少一根側(cè)向支撐柱，側(cè)向支撐柱設(shè)置成沿預(yù)設(shè)的調(diào)整軌道相對(duì)于支架位置可調(diào)，以使得不同尺寸的晶圓保持在兩根底部支撐柱上。通過(guò)調(diào)整側(cè)向支撐柱在調(diào)整軌道上的位置，實(shí)現(xiàn)不同尺寸的晶圓的承載；可以方便非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓的承載，減少承載裝置數(shù)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓處理技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種晶圓承載裝置和晶圓清洗設(shè)備。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的晶圓清洗技術(shù)，主要是將標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓放到標(biāo)準(zhǔn)尺寸的清洗裝置里面，再將標(biāo)準(zhǔn)尺寸的清洗裝置放到清洗機(jī)里面進(jìn)行清洗。這種標(biāo)準(zhǔn)的清洗裝置只能清洗標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓，清洗產(chǎn)品尺寸較為單一。基于籽晶清洗存在的局限性，當(dāng)晶圓從6英寸擴(kuò)徑到8英寸時(shí)就會(huì)產(chǎn)生不同尺寸的籽晶，此時(shí)就無(wú)法采用標(biāo)準(zhǔn)尺寸的清洗裝置對(duì)非標(biāo)準(zhǔn)的籽晶進(jìn)行固定并放到清洗機(jī)里面進(jìn)行清洗。

實(shí)用新型內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N晶圓承載裝置和晶圓清洗裝置，通過(guò)調(diào)整側(cè)向支撐柱在調(diào)整軌道上的位置，實(shí)現(xiàn)不同尺寸的晶圓的承載。可以方便非標(biāo)準(zhǔn)尺寸的晶圓的承載，減少承載裝置數(shù)量，只需要制作一個(gè)非標(biāo)準(zhǔn)尺寸晶圓的承載裝置就可以承載不同尺寸的晶圓及籽晶。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)采用的一個(gè)技術(shù)方案是：一種晶圓承載裝置包括：支架；支撐柱組件，支撐柱組件安裝于支架上；其中，支撐柱組件包括彼此平行設(shè)置的兩根底部支撐柱，兩根底部支撐柱用于在晶圓以主表面沿重力方向設(shè)置的方式放入晶圓承載裝置時(shí)分別與晶圓的外周緣形成一底部支撐點(diǎn)，兩根底部支撐柱所形成的兩個(gè)底部支撐點(diǎn)位于過(guò)晶圓的重心且沿重力方向設(shè)置的豎直參考線的兩側(cè)；支撐柱組件進(jìn)一步包括與底部支撐柱平行設(shè)置的至少一根側(cè)向支撐柱，側(cè)向支撐柱設(shè)置成沿預(yù)設(shè)的調(diào)整軌道相對(duì)于支架位置可調(diào)，進(jìn)而在不同尺寸的晶圓支撐于兩根底部支撐柱上時(shí)能夠與不同尺寸的晶圓的外周緣形成側(cè)向支撐點(diǎn)，以使得晶圓保持在兩根底部支撐柱上。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，底部支撐柱和/或側(cè)向支撐柱的外周面上設(shè)置有限位槽，晶圓的外周緣嵌入限位槽內(nèi)。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，支架包括彼此平行且間隔設(shè)置的兩個(gè)側(cè)板，底部支撐柱和側(cè)向支撐柱架設(shè)于兩個(gè)側(cè)板之間，兩個(gè)側(cè)板上對(duì)稱設(shè)置有調(diào)整軌道，側(cè)向支撐柱的兩端分別與兩個(gè)側(cè)板的調(diào)整軌道限位配合。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，底部支撐柱和/或側(cè)向支撐柱進(jìn)一步沿兩個(gè)側(cè)板的間隔方向支撐兩個(gè)側(cè)板，以使得兩個(gè)側(cè)板保持預(yù)定間隔。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，側(cè)板上設(shè)置有通孔，底部支撐柱包括位于兩個(gè)側(cè)板之間的第一主體部以及與第一主體部的端面連接的第一插置部，其中第一插置部的徑向尺寸小于通孔的徑向尺寸，第一主體部的端面的徑向尺寸大于通孔的徑向尺寸，第一插置部插置于通孔內(nèi)，并從通孔外露，支撐柱組件進(jìn)一步包括第一鎖止件，第一鎖止件與第一插置部從通孔的外露部分配合，以將側(cè)板壓持固定于第一主體部的端面上。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，調(diào)整軌道為鏤空槽，側(cè)向支撐柱包括位于兩個(gè)側(cè)板之間的第二主體部以及與第二主體部的端面連接的第二插置部，其中第二插置部的徑向尺寸小于鏤空槽的寬度，第二主體部的端面的徑向尺寸大于鏤空槽的寬度，第二插置部插置于鏤空槽內(nèi)，并從鏤空槽外露，支撐柱組件進(jìn)一步包括第二鎖止件，第二鎖止件與第二插置部從鏤空槽的外露部分配合，以將側(cè)板壓持固定于第二主體部的端面上。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，第一插置部和第二插置部上設(shè)置有螺紋，第一鎖止件和第二鎖止件為螺母。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一個(gè)實(shí)施例，支撐柱組件進(jìn)一步包括頂部支撐柱，頂部支撐柱位于側(cè)向支撐柱遠(yuǎn)離底部支撐柱的一側(cè)，頂部支撐柱沿兩個(gè)側(cè)板的間隔方向支撐兩個(gè)側(cè)板，以使得兩個(gè)側(cè)板保持預(yù)定間隔。