[實(shí)用新型]垂直腔面發(fā)射激光器及垂直腔面發(fā)射激光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202222715069.5
• 申請(qǐng)日: 2022-10-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN218732393U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘德烈
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳市德明利光電有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01S5/183
• 分類(lèi)號(hào): H01S5/183;H01S5/30
• 代理公司: 北京超凡宏宇專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 蔣志行

本實(shí)用新型提供了一種垂直腔面發(fā)射激光器及垂直腔面發(fā)射激光裝置，激光器包括P型電極、P型布拉格反射鏡、上層氧化局限層、主動(dòng)層、下層氧化局限層、N型布拉格反射鏡和N型電極；上層氧化局限層和下層氧化局限層用于對(duì)主動(dòng)層內(nèi)的電流流向進(jìn)行限制。當(dāng)對(duì)激光器通電后，電流從P布拉格反射鏡流向上層氧化局限層時(shí)，該上層氧化局限層可以對(duì)電流流向進(jìn)行局限，以提升主動(dòng)層內(nèi)的電流密度，另外，當(dāng)電流從主動(dòng)層流向下層氧化局限層時(shí)，該下層氧化局限層也可以對(duì)電流流向進(jìn)行局限，避免電流流向下層氧化局限層時(shí)出現(xiàn)電流擴(kuò)散的問(wèn)題，從而使電流流經(jīng)垂直腔面發(fā)射激光器的路徑進(jìn)行限制，避免出現(xiàn)路徑過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題，進(jìn)而降低垂直腔面發(fā)射激光器的整體電阻。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種垂直腔面發(fā)射激光器及垂直腔面發(fā)射激光裝置。

背景技術(shù)

VCSEL((Vertical Cavity Surface Emitting Laser，垂直腔面發(fā)射激光器)主要是以III-V族化合物半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)研制。VCSEL結(jié)構(gòu)通常為層疊結(jié)構(gòu)，在傳統(tǒng)VCSEL結(jié)構(gòu)中，在P型布拉格反射鏡下方依次設(shè)置有氧化層、上層局限層、主動(dòng)層、下層局限層、N型布拉格發(fā)射鏡和基板；當(dāng)組件導(dǎo)通后，電流通過(guò)主動(dòng)層之后進(jìn)入N型布拉格發(fā)射鏡時(shí)，有可能因?yàn)榻涌趽诫s濃度變化或是不均勻，造成電流擴(kuò)散，進(jìn)而造成電流流經(jīng)VCSEL的路徑過(guò)長(zhǎng)，使得VCSEL整體電阻偏高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種垂直腔面發(fā)射激光器及垂直腔面發(fā)射激光裝置，以縮短電流流經(jīng)垂直腔面發(fā)射激光器的路徑，降低垂直腔面發(fā)射激光器的整體電阻。

本實(shí)用新型提供的一種垂直腔面發(fā)射激光器，激光器為層疊結(jié)構(gòu)；激光器包括：設(shè)置在P型布拉格反射鏡上方的P型電極，在P型布拉格反射鏡下方依次為上層氧化局限層、主動(dòng)層、下層氧化局限層、N型布拉格反射鏡和N型電極；其中，上層氧化局限層和下層氧化局限層用于對(duì)主動(dòng)層內(nèi)的電流流向進(jìn)行限制。

進(jìn)一步的，上層氧化局限層和下層氧化局限層的材質(zhì)均為鋁砷化鎵；上層氧化局限層和下層氧化局限層還用于限制越過(guò)主動(dòng)層的電子和電洞的數(shù)量和速度。

進(jìn)一步的，上層氧化局限層和下層氧化局限層的材質(zhì)均為Al_(0.98)Ga_(0.02)As。

進(jìn)一步的，上層氧化局限層、主動(dòng)層和下層氧化局限層形成共振腔；其中，共振腔的長(zhǎng)度越短，激光器的縱模之間的模距越大。

進(jìn)一步的，共振腔的長(zhǎng)度為激光器的激光波長(zhǎng)的一半。

進(jìn)一步的，主動(dòng)層包括相互交疊的多層能障層和井層；井層用于對(duì)會(huì)合在井層中的電子與電洞進(jìn)行復(fù)合，形成光子；能障層用于限制電子和電洞越過(guò)能障層的速度。

進(jìn)一步的，在經(jīng)過(guò)氧化制程后，上層氧化局限層和下層氧化局限層形成氧化孔洞。

進(jìn)一步的，P型電極設(shè)置在P型布拉格反射鏡上方的第一指定區(qū)域。

進(jìn)一步的，激光器還包括：基板；N型布拉格反射鏡和N型電極通過(guò)粘結(jié)層與基板粘結(jié)；N型電極設(shè)置在基板上方的第二指定區(qū)域。

本實(shí)用新型提供的一種垂直腔面發(fā)射激光裝置，包括上述任一項(xiàng)的垂直腔面發(fā)射激光器。