[實用新型]垂直腔面發射激光器及垂直腔面發射激光裝置有效
| 申請號： | 202222715069.5 | 申請日： | 2022-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN218732393U | 公開（公告）日： | 2023-03-24 |
| 發明（設計）人： | 潘德烈 | 申請（專利權）人： | 深圳市德明利光電有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183;H01S5/30 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 蔣志行 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市福田區福保*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 垂直 發射 激光器 激光 裝置 | ||
1.一種垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述激光器為層疊結構；所述激光器包括：設置在P型布拉格反射鏡上方的P型電極，在所述P型布拉格反射鏡下方依次為上層氧化局限層、主動層、下層氧化局限層、N型布拉格反射鏡和N型電極；
其中，所述上層氧化局限層和所述下層氧化局限層用于對所述主動層內的電流流向進行限制。
2.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述上層氧化局限層和所述下層氧化局限層的材質均為鋁砷化鎵；
所述上層氧化局限層和所述下層氧化局限層還用于限制越過所述主動層的電子和電洞的數量和速度。
3.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述上層氧化局限層和所述下層氧化局限層的材質均為Al(0.98)Ga(0.02)As。
4.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述上層氧化局限層、所述主動層和所述下層氧化局限層形成共振腔；其中，所述共振腔的長度越短，所述激光器的縱模之間的模距越大。
5.根據權利要求4所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述共振腔的長度為所述激光器的激光波長的一半。
6.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述主動層包括相互交疊的多層能障層和井層；
所述井層用于對會合在所述井層中的電子與電洞進行復合，形成光子；
所述能障層用于限制電子和電洞越過所述能障層的速度。
7.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，
在經過氧化制程后，所述上層氧化局限層和所述下層氧化局限層形成氧化孔洞。
8.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述P型電極設置在所述P型布拉格反射鏡上方的第一指定區域。
9.根據權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述激光器還包括：基板；
所述N型布拉格反射鏡和所述N型電極通過粘結層與所述基板粘結；
所述N型電極設置在所述基板上方的第二指定區域。
10.一種垂直腔面發射激光裝置，其特征在于，包括權利要求1-9任一項所述的垂直腔面發射激光器。
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