[實(shí)用新型]一種大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202222688655.5 | 申請(qǐng)日: | 2022-10-12 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN218351434U | 公開(kāi)(公告)日: | 2023-01-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊勇 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 蘇州矩浪科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L21/683 | 分類(lèi)號(hào): | H01L21/683;H01L21/68;H01L33/00 |
| 代理公司: | 蘇州言思嘉信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 32385 | 代理人: | 徐永雷 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇州市高*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 平面 尺寸 兼容 真空 平臺(tái) 結(jié)構(gòu) | ||
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu),包括平臺(tái)板和歸正避讓槽,平臺(tái)板的內(nèi)部安裝有等間距的五組歸正避讓槽,且歸正避讓槽的兩端皆延伸至平臺(tái)板的外部,平臺(tái)板的內(nèi)部安裝有等間距的多組傳動(dòng)輪避讓槽,且傳動(dòng)輪避讓槽的兩端皆延伸至平臺(tái)板的外部,平臺(tái)板的內(nèi)部設(shè)有多組真空槽,且真空槽的頂端皆延伸至平臺(tái)板的外部,真空槽的內(nèi)部皆安裝有真空螺紋孔,且真空螺紋孔的底端皆延伸至平臺(tái)板的外部,真空螺紋孔下方的平臺(tái)板底端皆安裝有氣管接頭,且氣管接頭皆延伸至平臺(tái)板的內(nèi)部。本實(shí)用新型不僅實(shí)現(xiàn)了真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)大平面多尺寸便捷的兼容控制,減少了真空的使用量,方便了進(jìn)行多尺寸快速的控制。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
miniLED背光工藝的封裝,LED芯片排布非常密集,如果采用人工顯微鏡目視的檢查方式來(lái)管控生產(chǎn)外觀缺陷,存在效率低、成本高、勞動(dòng)強(qiáng)度大的缺點(diǎn),一方面人工檢查會(huì)耗費(fèi)大量的人員精力,同時(shí)還會(huì)產(chǎn)生諸多的因?yàn)槿斯ぶ饔^因素而導(dǎo)致的誤檢、漏檢等現(xiàn)象,從而對(duì)用戶的產(chǎn)品質(zhì)量管控帶來(lái)巨大的困難,miniLED的工藝外觀檢查為miniLED封裝產(chǎn)品的重要組成部分,要求外觀質(zhì)量必須完好無(wú)損,不能存在miniLED芯片漏固、固偏、固歪、錫少、異物、反向、浮晶、共線性等致命缺陷,大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu),用于3DSPI檢測(cè)設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)。
傳統(tǒng)的以人工顯微鏡目視檢查的方式已經(jīng)不能適應(yīng)現(xiàn)代工藝的低成本、大批量生產(chǎn)需求,研發(fā)快速高效的自動(dòng)化miniLED封裝外觀檢測(cè)系統(tǒng)來(lái)滿足廠商的需求已迫在眉睫,而且大多數(shù)LED封裝單位也都在進(jìn)行產(chǎn)業(yè)升級(jí),來(lái)提高自動(dòng)化設(shè)備的使用率,大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)是提供3DSPI檢測(cè)設(shè)備運(yùn)作的機(jī)械結(jié)構(gòu),保證SPI被檢測(cè)單元的表面平整,防止因被檢測(cè)物的彎曲、變形、翹邊等缺陷導(dǎo)致無(wú)法檢測(cè),大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)在使用時(shí),不利于對(duì)多尺寸玻璃板進(jìn)行快速的吸附固定,極大的影響了多尺寸玻璃板固定時(shí)的便利性。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu),以解決上述背景技術(shù)中提出真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)不便于大平面多尺寸便捷的兼容控制的問(wèn)題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種大平面多尺寸兼容真空平臺(tái)結(jié)構(gòu),包括平臺(tái)板和歸正避讓槽,平臺(tái)板的內(nèi)部安裝有等間距的五組歸正避讓槽,且歸正避讓槽的兩端皆延伸至平臺(tái)板的外部,平臺(tái)板的內(nèi)部安裝有等間距的多組傳動(dòng)輪避讓槽,且傳動(dòng)輪避讓槽的兩端皆延伸至平臺(tái)板的外部,平臺(tái)板的內(nèi)部設(shè)有多組真空槽,且真空槽的頂端皆延伸至平臺(tái)板的外部,真空槽的內(nèi)部皆安裝有真空螺紋孔,且真空螺紋孔的底端皆延伸至平臺(tái)板的外部,真空螺紋孔下方的平臺(tái)板底端皆安裝有氣管接頭,且氣管接頭皆延伸至平臺(tái)板的內(nèi)部。
優(yōu)選的,平臺(tái)板的外部設(shè)有玻璃大板,且玻璃大板與平臺(tái)板活動(dòng)連接。
優(yōu)選的,玻璃大板一側(cè)的平臺(tái)板外部設(shè)有玻璃中板,且玻璃中板與平臺(tái)板活動(dòng)連接。
優(yōu)選的,玻璃中板一側(cè)的平臺(tái)板外部設(shè)有玻璃小板,且玻璃小板與平臺(tái)板活動(dòng)連接。
優(yōu)選的,平臺(tái)板的內(nèi)部設(shè)有小板區(qū)域,且小板區(qū)域的尺寸與玻璃小板一樣。
優(yōu)選的,小板區(qū)域一側(cè)的平臺(tái)板內(nèi)部設(shè)有中板區(qū)域,且中板區(qū)域的尺寸與玻璃中板一樣,中板區(qū)域一側(cè)的平臺(tái)板內(nèi)部設(shè)有大板區(qū)域,且大板區(qū)域的尺寸與玻璃大板一樣。
優(yōu)選的,平臺(tái)板的內(nèi)部安裝有等間距的多組放置槽,且放置槽的頂端皆延伸至平臺(tái)板的外部。
優(yōu)選的,平臺(tái)板的側(cè)壁上皆設(shè)有兩組限位槽,且限位槽皆延伸至平臺(tái)板的外部。
優(yōu)選的,平臺(tái)板的內(nèi)部對(duì)稱(chēng)安裝有等間距的四組安裝孔,且安裝孔的底端皆延伸至平臺(tái)板的外部。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)不僅實(shí)現(xiàn)了真空平臺(tái)結(jié)構(gòu)大平面多尺寸便捷的兼容控制,減少了真空的使用量,方便了進(jìn)行多尺寸快速的控制;
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- 同類(lèi)專(zhuān)利
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專(zhuān)門(mén)適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專(zhuān)門(mén)適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專(zhuān)門(mén)適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專(zhuān)門(mén)適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





