[實用新型]一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構

有效

• 申請號: 202222688655.5
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN218351434U
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 楊勇
• 申請（專利權）人: 蘇州矩浪科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/68;H01L33/00
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 徐永雷

1.一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，包括平臺板(1)和歸正避讓槽(2)，其特征在于：所述平臺板(1)的內部安裝有等間距的五組歸正避讓槽(2)，且歸正避讓槽(2)的兩端皆延伸至平臺板(1)的外部，所述平臺板(1)的內部安裝有等間距的多組傳動輪避讓槽(3)，且傳動輪避讓槽(3)的兩端皆延伸至平臺板(1)的外部，所述平臺板(1)的內部設有多組真空槽(5)，且真空槽(5)的頂端皆延伸至平臺板(1)的外部，所述真空槽(5)的內部皆安裝有真空螺紋孔(6)，且真空螺紋孔(6)的底端皆延伸至平臺板(1)的外部，所述真空螺紋孔(6)下方的平臺板(1)底端皆安裝有氣管接頭(9)，且氣管接頭(9)皆延伸至平臺板(1)的內部。

2.根據權利要求1所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述平臺板(1)的外部設有玻璃大板(13)，且玻璃大板(13)與平臺板(1)活動連接。

3.根據權利要求2所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述玻璃大板(13)一側的平臺板(1)外部設有玻璃中板(14)，且玻璃中板(14)與平臺板(1)活動連接。

4.根據權利要求3所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述玻璃中板(14)一側的平臺板(1)外部設有玻璃小板(15)，且玻璃小板(15)與平臺板(1)活動連接。

5.根據權利要求1所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述平臺板(1)的內部設有小板區域(12)，且小板區域(12)的尺寸與玻璃小板(15)一樣。

6.根據權利要求5所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述小板區域(12)一側的平臺板(1)內部設有中板區域(11)，且中板區域(11)的尺寸與玻璃中板(14)一樣，所述中板區域(11)一側的平臺板(1)內部設有大板區域(10)，且大板區域(10)的尺寸與玻璃大板(13)一樣。

7.根據權利要求1所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述平臺板(1)的內部安裝有等間距的多組放置槽(8)，且放置槽(8)的頂端皆延伸至平臺板(1)的外部。

8.根據權利要求1所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述平臺板(1)的側壁上皆設有兩組限位槽(7)，且限位槽(7)皆延伸至平臺板(1)的外部。

9.根據權利要求1所述的一種大平面多尺寸兼容真空平臺結構，其特征在于：所述平臺板(1)的內部對稱安裝有等間距的四組安裝孔(4)，且安裝孔(4)的底端皆延伸至平臺板(1)的外部。