[實用新型]一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置

有效

• 申請號: 202222687752.2
• 申請日: 2022-10-12
• 公開（公告）號: CN218365806U
• 公開（公告）日: 2023-01-24
• 發明（設計）人: 胡天;龔勝;徐志強
• 申請（專利權）人: 合肥艾凱瑞斯智能裝備有限公司
• 主分類號: B28D7/04
• 分類號: B28D7/04;B28D5/00;H01L21/677
• 代理公司: 長沙中科啟明知識產權代理事務所(普通合伙) 43226
• 代理人: 譚勇

本實用新型涉及一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其包括上下氣缸、旋轉組件和抬料組件，旋轉組件包括旋轉氣缸安裝座、旋轉氣缸和轉盤，抬料組件包括抬料夾爪安裝板和數個抬料夾爪，旋轉氣缸安裝座固定設于抬料夾爪安裝板上，且旋轉氣缸安裝座頂部通過直線光軸與上下氣缸活動相連，旋轉氣缸安裝座底部固定連接有旋轉氣缸，旋轉氣缸通過旋轉軸與轉盤相連，同時轉盤上設有數個與抬料夾爪一一對應的弧形滑槽，每一抬料夾爪均與連桿一端固定相連，連桿另一端穿過夾爪安裝板側面與卡合弧形滑槽的凸輪相連。本實用新型通過簡單的結構可以同時實現上下升降和旋轉夾料，且體積小，成本低，適用于各種小空間安裝，便于推廣使用。

技術領域

本實用新型涉及機械手技術領域，具體說是一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置。

背景技術

傳統半導體晶圓劃片機都是由人工實現上料和下料，導致人工成本高，加工效率慢，針對這種問題，已經開始了針對傳統劃片機的改造，通過外置機械手的方式實現自動上料和下料；現有的機械手夾料方式有很多種，但是結構較為復雜，成本高，且體積大、占地面積廣，適用場地有所局限，不利于推廣使用，因此針對這一問題進行了改進。

實用新型內容

針對上述問題，本實用新型提供一種結構簡單，操作方便，可以同時實現上下升降和旋轉夾料的用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置。

本實用新型解決上述技術問題所采用的技術方案為：一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，包括上下氣缸、旋轉組件和抬料組件，所述旋轉組件包括旋轉氣缸安裝座、旋轉氣缸和設于旋轉氣缸下方的轉盤，所述抬料組件包括抬料夾爪安裝板和沿抬料夾爪安裝板圓周周設的數個抬料夾爪，所述旋轉氣缸安裝座固定設于抬料夾爪安裝板上，且所述旋轉氣缸安裝座頂部通過直線光軸與上下氣缸活動相連，所述旋轉氣缸安裝座底部固定連接有旋轉氣缸，所述旋轉氣缸通過旋轉軸與轉盤相連，同時所述轉盤上沿圓周均設有數個與抬料夾爪一一對應的弧形滑槽，每一所述弧形滑槽均同向沿轉盤外周向圓心呈弧形斜向設置，每一所述抬料夾爪均通過連桿連接于對應弧形滑槽，每一所述抬料夾爪均與連桿一端固定相連，所述連桿水平貫穿抬料夾爪安裝板側面且與抬料夾爪安裝板活動相連，所述連桿另一端與卡合弧形滑槽的凸輪相連。

作為優選，所述弧形滑槽由左下向右上斜向設置，所述旋轉氣缸帶動轉盤順時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤圓心并帶動抬料夾爪夾緊，所述旋轉氣缸帶動轉盤逆時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤外周并帶動抬料夾爪松開。

作為優選，所述弧形滑槽由右下向左上斜向設置，所述旋轉氣缸帶動轉盤逆時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤圓心并帶動抬料夾爪夾緊，所述旋轉氣缸帶動轉盤順時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤外周并帶動抬料夾爪松開。

作為優選，所述轉盤與所述抬料夾爪安裝板沿旋轉軸同軸圓心設置。

作為優選，所述抬料夾爪一側設有傳感器，所述傳感器通過傳感支架連接于抬料夾爪安裝板。

作為優選，所述上下氣缸通過氣缸支架固定于推料裝置上，所述抬料夾爪夾取工件盤。

與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果：

1、本實用新型通過上下氣缸可以帶動整個裝置上下升降同時通過旋轉氣缸帶動轉盤旋轉，從而帶動連桿隨卡合轉盤滑槽的凸輪來回滑動，因此帶動抬料夾爪夾緊或松開工件盤實現夾料；

2、本實用新型結構簡單，便于操作，且體積小，成本低，適用于各種小空間安裝，便于推廣使用；

3、本實用新型通過隨凸輪在滑槽的運動而進行水平活動的連桿可以調節抬料夾爪與抬料夾爪安裝板間連桿的長度，從而實現抬料夾爪夾取不同規格大小的工件盤；

4、本實用新型通過傳感器可以及時感應抬料夾爪是否夾到料，若未夾到料可以及時發出報警信息，從而避免操作失誤，提高安全性。

附圖說明