[實用新型]一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202222687752.2 | 申請日： | 2022-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN218365806U | 公開（公告）日： | 2023-01-24 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡天;龔勝;徐志強 | 申請（專利權）人： | 合肥艾凱瑞斯智能裝備有限公司 |
| 主分類號： | B28D7/04 | 分類號： | B28D7/04;B28D5/00;H01L21/677 |
| 代理公司： | 長沙中科啟明知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 43226 | 代理人： | 譚勇 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 半導體 劃片 機械 手夾 裝置 | ||
1.一種用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：包括上下氣缸(501)、旋轉組件和抬料組件，所述旋轉組件包括旋轉氣缸安裝座(503)、旋轉氣缸(504)和設于旋轉氣缸下方的轉盤(505)，所述抬料組件包括抬料夾爪安裝板(506)和沿抬料夾爪安裝板圓周周設的數(shù)個抬料夾爪(507)，所述旋轉氣缸安裝座固定設于抬料夾爪安裝板上，且所述旋轉氣缸安裝座頂部通過直線光軸(513)與上下氣缸活動相連，所述旋轉氣缸安裝座底部固定連接有旋轉氣缸，所述旋轉氣缸通過旋轉軸(508)與轉盤相連，同時所述轉盤上沿圓周均設有數(shù)個與抬料夾爪一一對應的弧形滑槽(512)，每一所述弧形滑槽均同向沿轉盤外周向圓心呈弧形斜向設置，每一所述抬料夾爪均通過連桿(509)連接于對應弧形滑槽，每一所述抬料夾爪均與連桿一端固定相連，所述連桿水平貫穿抬料夾爪安裝板側面且與抬料夾爪安裝板活動相連，所述連桿另一端與卡合弧形滑槽的凸輪相連。
2.根據(jù)權利要求1所述用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：所述弧形滑槽由左下向右上斜向設置，所述旋轉氣缸帶動轉盤順時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤圓心并帶動抬料夾爪夾緊，所述旋轉氣缸帶動轉盤逆時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤外周并帶動抬料夾爪松開。
3.根據(jù)權利要求1所述用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：所述弧形滑槽由右下向左上斜向設置，所述旋轉氣缸帶動轉盤逆時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤圓心并帶動抬料夾爪夾緊，所述旋轉氣缸帶動轉盤順時針旋轉，所述連桿隨凸輪沿弧形滑槽滑向轉盤外周并帶動抬料夾爪松開。
4.根據(jù)權利要求1所述用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：所述轉盤與所述抬料夾爪安裝板沿旋轉軸同軸圓心設置。
5.根據(jù)權利要求1所述用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：所述抬料夾爪一側設有傳感器(510)，所述傳感器通過傳感支架(511)連接于抬料夾爪安裝板。
6.根據(jù)權利要求1所述用于半導體晶圓劃片機的機械手夾料裝置，其特征在于：所述上下氣缸通過氣缸支架(502)固定于推料裝置上，所述抬料夾爪夾取工件盤(6)。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于合肥艾凱瑞斯智能裝備有限公司，未經(jīng)合肥艾凱瑞斯智能裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權和技術合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202222687752.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：一種管件捆扎設備
- 下一篇：一種用于半導體晶圓劃片機的推料裝置
